刻蚀深度

作品数：42被引量：74H指数：5
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低能等离子体轰击对单晶硅表面性能的影响
《真空科学与技术学报》2025年第2期89-97,共9页余天翔 薛转转 武鹏远 Oleksiy Penkov 
为了研究低能等离子体轰击对单晶硅表面物理性能的影响。通过控制刻蚀时间和真空腔内气体压强等因素,使用低能等离子体对单面抛光单晶硅(100)进行刻蚀。通过测量刻蚀后硅片的刻蚀深度、硅片表面粗糙度、拉曼光谱以及接触角,研究硅片表...
关键词：单晶硅 等离子体轰击 刻蚀深度 表面粗糙度 拉曼光谱 接触角 
基于ICP的Ar等离子体干法刻蚀Ti/Ni/Ag薄膜
《半导体技术》2024年第10期893-898,共6页黄梦茹 卢林红 郭丰杰 马奎 杨发顺 
贵州省科技成果应用及产业化计划(重大项目)(黔科合成果[2024]重大006)。
在电感耦合等离子体(ICP)刻蚀工艺中,选择合适的刻蚀条件对Ti/Ni/Ag薄膜的刻蚀至关重要。使用氩气(Ar)作为刻蚀气体,研究了射频偏压功率、气体体积流量、腔体压强、刻蚀时间等多个参数对功率芯片背面Ti/Ni/Ag薄膜刻蚀深度的影响,并优化...
关键词：Ti/Ni/Ag薄膜 电感耦合等离子体(ICP) 刻蚀深度 AR 射频偏压功率 
GH3230高温合金绿光飞秒激光的刻蚀特性被引量：2
《中国激光》2023年第8期51-57,共7页黄彩丽 蒋麒 蔺晓超 杨诗瑞 郭鹏 崔梦雅 黄婷 
飞秒激光以其超窄脉宽和超高光强等特性被广泛应用于各种金属材料的加工。本课题组采用波长为515 nm的绿光飞秒激光器对GH3230镍基高温合金进行刻蚀试验,研究了GH3230高温合金的绿光飞秒激光刻蚀阈值、刻蚀率和极限刻蚀深度。结果表明:...
关键词：激光技术 镍基高温合金 飞秒激光加工 刻蚀阈值 刻蚀深度 刻蚀率 
旋转磁场辅助激光加工微孔的机理及试验研究被引量：6
《中国激光》2022年第16期1-9,共9页王银飞 朱浩 张朝阳 张天帅 吴予澄 杜文武 
国家自然科学基金(52075227,51905226);江苏省自然科学基金(BK20180873,BK20180875);江苏大学工业中心大学生创新实践基金(ZXJG2021049)。
为了改善激光钻孔的几何形貌,提高其刻蚀深度和减小微孔锥度,以304不锈钢为试验材料,采用旋转磁场辅助激光钻孔的加工工艺,研究了在不同转速旋转磁场下,微孔刻蚀深度、表面喷溅、孔壁几何形貌和内壁氧含量的变化,探索了在有/无旋转磁场...
关键词：激光技术 激光钻孔 旋转磁场 形貌 锥度 刻蚀深度 
基于优化插值与差值神经网络算法的硅片刻蚀深度预测模型被引量：1
《计算机应用》2021年第S02期108-112,共5页黄涛 王飞 杨晔 
国家自然科学基金资助项目(51605298)。
针对半导体加工工艺复杂、成本高、工艺数据量少,一般的人工神经网络(ANN)算法无法准确预测其加工工艺性能的问题,提出一种基于优化插值与差值神经网络(OIDNN)算法的适用于小样本的硅片刻蚀深度预测模型。首先,分别由实验得到刻蚀深度...
关键词：半导体加工工艺 机器学习 小样本 硅片刻蚀 神经网络 计算机辅助设计 
基于紫外激光对硅基微通道刻蚀分析被引量：1
《电子测量技术》2021年第2期170-175,共6页单存良 梁庭 雷程 王文涛 刘瑞芳 李奇思 
山西省重点研发计划(201903D121123);山西省自然科学基金(201801D121157,201801D221203)项目资助。
紫外激光具有波长短、速度快、加工精度高、热影响区小以及无损加工等优点,针对紫外激光加工过程中,不同参数对刻蚀结果产生不同的影响,实验中通过控制单一变量法,设计了扫描速度、扫描次数、能量密度、重复频率、离焦量等不同参数对刻...
关键词：紫外激光器 单一变量法 刻蚀宽度 刻蚀深度 L型硅基微通道 
混凝土施工缝冲毛技术探讨被引量：4
《广东土木与建筑》2021年第1期70-72,共3页陈晓虎 
混凝土施工缝在工程施工中无法避免,施工缝处理传统方式为人工或机械凿毛,但该方式费工费时,效果受人为因素影响较大。近年来,施工缝冲毛方式应用逐渐增多。在施工过程中,通过调整外加剂掺量来控制混凝土凝结时间、选择合适的表面缓凝...
关键词：施工缝 凝结时间 表面缓凝剂 刻蚀深度 冲毛 
基于两种热源模型的激光刻蚀数值仿真
《电加工与模具》2018年第6期40-43,共4页陈雪辉 吴超 李翔 徐欣 王可朝 张遥 
安徽省高校自然科学重点项目(KJ2015A013);安徽省高校优秀青年人才支持计划重点项目(gxyqZD2016153)
激光刻蚀碳化硅的影响因子较多,仅依靠试验方法研究激光刻蚀过程难以充分和有效了解其过程,数值仿真模拟己成为研究激光刻蚀的一种有力手段。基于ABAQUS有限元软件的数学模型和数值方法,利用FORTRAN编写的用户子程序,模拟了不同激光热...
关键词：激光刻蚀 热源模型 刻蚀温度场 刻蚀深度 
刻蚀深度对GaN基微尺寸LED芯片RC特性的影响被引量：4
《发光学报》2018年第9期1297-1304,共8页杨倬波 黄华茂 施伟 王洪 
广东省应用型科技研发专项资金(2015B010127013;2016B010123004);广东省科技计划(2014B010119002;2017B010112003;2016A010103011;2017A050501006);广州市科技计划(201504291502518;201604046021;2016100100 38);中央高校基本科研业务费专项资金(2017PY019;2015ZM131)资助项目~~
隔离槽的制作是实现阵列芯片单元独立的有效方法。本文采用感应耦合等离子体干法刻蚀(ICP)和具有高刻蚀比的Si O2与光刻胶混合掩膜在Ga N基微尺寸LED上制备了3种深度的隔离槽和6种不同的芯片尺寸结构。通过电致发光(EL)和电容计表征不...
关键词：深刻蚀隔离槽 微尺寸LED芯片 电容 RC常数 
多晶硅片湿法切边背抛光对转换效率的影响研究
《山西化工》2018年第3期19-21,42,共4页武佳娜 李雪方 焦朋府 
太阳能作为一种绿色、清洁的可再生能源被广泛利用。多晶硅太阳能电池就是利用太阳能发电的产品,价格相对低廉。对湿法切边工艺参数进行研究,得出适合太阳能电池片生产线的参考工艺配方。实验采用HF、HNO_3的混合酸溶液进行多晶硅片太...
关键词：湿法切边 背抛光[1] 刻蚀深度 
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