类金刚石碳膜

作品数：149被引量：379H指数：10
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电子能量损失谱在类金刚石碳膜结构表征中的应用
《微细加工技术》1993年第4期13-22,共10页王维洁 才勇 王天民 
本文先介绍了类金刚石碳膜的结构特点及电子能量损失谱的原理和分类;然后着重评述了近年来电子能量损失谱在类金刚石碳膜(及有些金刚石膜)结构表征中的应用;同时也讨论了类金刚石碳膜经某些后处理后其能量损失谱的变化特征。
关键词：电子能量损失谱 类金刚石碳膜 结构表征 
类金刚石碳膜的制备及性能
《微细加工技术》1993年第3期88-91,共4页陈智颖 王维洁 王天民 
本文简略地回顾了用低压气相法制备类金刚石碳(DLC)膜的工艺;讨论了DLC膜的形成机制;评述了DLC膜的性能与工艺参数间的关系。
关键词：类金刚石 碳膜 低压气相法 制造 性能 
类金刚石碳膜在各种后处理条件下稳定行为的研究被引量：3
《微细加工技术》1992年第2期62-69,共8页王维洁 陈智颖 王天民 
本文介绍了类金刚石碳膜的结构和性能在高能离子束辐照、真空热退火及脉冲激光辐照等后处理条件下的变化特征,并就该膜在各种处理条件下的相变机制研究现状进行了评述。
关键词：后处理条件 类金刚石 碳膜 
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