互连结构

作品数：128被引量：226H指数：6
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相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
相关作者：朱慧珑张昱赵超钟汇才叶甜春更多>>
相关机构：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司中芯国际集成电路制造(北京)有限公司国际商业机器公司英特尔公司更多>>
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基于多层板过孔互连结构的小型化微波整流电路设计被引量：4
《四川大学学报（自然科学版）》2017年第6期1217-1221,共5页冯小平 黄卡玛 
国家重点基础研究发展"973计划"(2013CB328902;2013CB328905)
设计了一种新颖的基于多层结构的微波整流电路,在该电路中使用过孔连接多层板的各导体层.在此基础上,加工了基于HSMS-282C肖特基二极管的S波段多层整流电路,其微波到直流转换效率达到73%.与传统的微带整流电路相比,多层整流电路与其转...
关键词：整流电路 小型化 多层 过孔 转换效率 
布线图案导致的集成电路平坦化损伤研究被引量：1
《电子元件与材料》2014年第7期60-65,共6页郭玉龙 郭丹 潘国顺 雒建斌 
"973"计划资助项目(No.2011CB013102);国家自然科学基金资助项目(No.91223202;No.51375255);国际科技合作项目资助(No.2011DFA70980)
使用化学机械抛光(CMP)的方式,对商用芯片进行拆解,获得了不同制造工艺的铜/低k介质互连结构样品。通过对所获得的32 nm制造工艺的铜/低k介质互连结构样品进行进一步的化学机械抛光实验来研究抛光过程中出现的损伤。实验结果发现,抛光...
关键词：化学机械抛光 集成电路制造 平坦化损伤 低K介质 互连结构 抛光下压力 
高压GaAs微型太阳电池阵列的制备
《微纳电子技术》2011年第4期220-224,247,共6页白一鸣 陈诺夫 王彦硕 王俊 黄添懋 汪宇 张兴旺 尹志刚 张汉 吴金良 姚建曦 
国家自然科学基金资助项目(61006150,61076051);国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2010CB933800);北京市自然基金资助项目(2102042);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(10QG24)
为了提高GaAs微型太阳电池的输出性能,对微型太阳电池阵列的主要工艺进行了研究和改进。通过对帽层、背电极层和台面的选择性/非选择性湿法腐蚀工艺的探索,实现了对最佳腐蚀液的配比、腐蚀时间和温度的控制。采用侧壁钝化工艺和聚酰亚氨...
关键词：微型电源 GAAS太阳电池 漏电流 湿法腐蚀工艺 互连结构 
关于中国Web的大小、形状和结构被引量：17
《计算机研究与发展》2002年第8期958-967,共10页闫宏飞 李晓明 
国家重点基础研究发展规划项目 ( G19990 32 70 6 );"创建世界一流大学工程"项目基金资助
基于天网搜索引擎连续 4次的大规模搜集记录 ,揭示了中国 2 0 0 2年初中国 Web的大小、形状和结构 .主要结论包括有 :1中国大约有 5 0 0 0万网页和 5万个 Web站点 ;2全国不到 1/ 3的省市拥有 2 / 3强数目的网站 ;3中国网络是高度连通的 ...
关键词：WEB 网站 网页 互连结构 搜索引擎 INTERNET 
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