灰度掩模

作品数：20被引量：42H指数：4
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用于微器件制作的灰度掩模技术
《微细加工技术》2001年第2期71-75,共5页张新宇 汤庆乐 张智 裴先登 
2000年中国博士后科学基金资助项目;湖北省自然科学基金资助项目! (2 0 0 0JI50 )
讨论了灰度掩模技术在凸及凹形微透镜、折衍射复合微透镜和微尖形阵列等器件制作方面的应用 ,给出了与几种典型的凸及凹形微透镜、折衍射复合微透镜和微尖形结构对应的灰度掩模板的设计实例及其应用 ,为灰度掩模技术制作微透镜器件及微...
关键词：灰度掩模 微透镜阵列 微尖形结构 微器件 
灰度掩模技术被引量：13
《微细加工技术》2000年第1期10-15,共6页李红军 李凤有 于利民 曹颖静 卢振武 廖江红 翁志成 
二元光学被誉为“1 990年代的光学技术” ,在国防、科研、生产等领域都显示出广阔的应用前景。衍射光学元件有很多制作方法 ,比较成熟的有二元光学元件加工方法和激光或电子束直写技术加工方法。二元光学元件加工方法存在周期长、成本...
关键词：二元光学 衍射光学元件 二元光学元件加工 激光直写 灰度掩模 
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