激光淀积

作品数：59被引量：152H指数：7
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相关领域：电子电信理学更多>>
相关作者：徐军彭观良周岳亮周国清周圣明更多>>
相关机构：中国科学院华中科技大学中国科学院上海光学精密机械研究所南京大学更多>>
相关期刊：《功能材料》《电子科技文摘》《无机材料学报》《真空科学与技术学报》更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家教育部博士点基金中国科学院知识创新工程重要方向项目更多>>
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6H-SiC单晶表面ZnO薄膜的制备及其结构表征被引量：1
《无机材料学报》2008年第4期753-757,共5页孙柏 李锐鹏 赵朝阳 徐彭寿 张国斌 潘国强 陈秀芳 徐现刚 
国家自然科学基金(50532070)
利用脉冲激光淀积(PLD)技术在6H-SiC单晶衬底上制备了ZnO薄膜.利用X射线衍射(XRD),反射式高能电子衍射(RHEED)和同步辐射掠入射X射线衍射(SRGID)Φ扫描等实验技术研究了ZnO薄膜的结构.结果表明:在单晶6H-SiC衬底上制备的ZnO薄膜已经达...
关键词：脉冲激光淀积 氧化锌 碳化硅 掠入射X射线衍射 
Mn掺杂对ZnO薄膜结构和光学性质的影响被引量：6
《无机材料学报》2007年第5期911-916,共6页孙柏 赵朝阳 徐彭寿 张国斌 韦世强 
国家自然科学基金(50532070);中科院知识创新工程资助项目
利用脉冲激光淀积的方法在Si衬底上生长出了c轴高度取向的ZnO和Zn_(0.9)Mn_(0.1)O薄膜.光致发光结果显示了Mn的掺杂引起了薄膜的带边发射蓝移,强度减弱,紫光发射几乎消失,但绿光发射增强.利用X射线衍射,X射线吸收精细结构和X射线光电子...
关键词：ZnO 脉冲激光淀积 XAFS XPS 光致发光 
衬底温度对PLD方法生长的ZnO薄膜结构和发光特性的影响被引量：10
《无机材料学报》2006年第4期1005-1010,共6页孙柏 邹崇文 刘忠良 徐彭寿 张国斌 
高等学校博士点专项科研基金(20030358054);国家自然科学基金(50532070);中科院知识创新工程资助项目
在不同的衬底温度下,通过脉冲激光淀积的方法在Si衬底上生长出c轴高度取向的ZnO薄膜．ZnO薄膜的结构和表面形貌通过X射线衍射和原子力显微镜表征．同时以He-Cd激光和同步辐射作为激发源来测试样品的发光特性．实验结果表明,在衬底温度为...
关键词：ZNO 脉冲激光淀积 光致发光 同步辐射 
脉冲激光法淀积MgO薄膜及其结晶性能的研究被引量：3
《无机材料学报》2005年第6期1475-1480,共6页陈同来 李效民 张霞 高相东 于伟东 
国家973项目(2002CB613306)
研究了脉冲激光淀积MgO薄膜的过程中,制备工艺参数对薄膜结晶性的影响.研究发现,MgO薄膜的结晶性主要受控于衬底温度和激光能量密度,而薄膜的生长速率则依赖于脉冲频率、衬底与靶材间的距离以及激光能量密度.通过对比不同靶材,即金属Mg...
关键词：脉冲激光淀积 MgO薄膜 硅衬底 RHEED 
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