集成传感器

作品数：162被引量：391H指数：8
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一种集成三轴加速度、压力、温度的硅微传感器被引量：5
《仪器仪表学报》2007年第8期1393-1398,共6页徐敬波 赵玉龙 蒋庄德 孙剑 
国家自然科学基金(50535030;50475085);国家重点基础研究发展规划(2004CB619302);教育部"新世纪优秀人才支持计划"(NCET-05-0842)资助项目
针对恶劣环境和严格空间体积限制条件下的多参数测量问题,利用绝缘体上硅(SOI)材料,采用微型机械电子系统(MEMS)技术,研制了一种可以同时测量三轴加速度、绝对压力、温度参数的单片集成硅微传感器,其中加速度、绝对压力传感器基于掺杂...
关键词：集成传感器 SOI MEMS 
软组织特性超声测量方法的研究被引量：3
《仪器仪表学报》2005年第2期119-123,共5页李醒飞 孙颖 张国雄 
天津大学<985工程>资助项目。
软组织的应力—应变特性是衡量软组织病变的重要依据。通过用四片应变片组成的力传感器与超声探头一起构成的新型力—位移集成传感器 ,测量软组织在受压时的形变和压力数据 ,并通过数据处理和利用互相关技术来获得被测软组织的应力与应...
关键词：测量方法 组织特性 生物力学模型 软组织 应力-应变 集成传感器 互相关技术 组织病变 超声探头 力传感器 压力数据 数据处理 特征参数 病理诊断 应变片 
基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器被引量：4
《仪器仪表学报》2004年第z3期101-103,共3页武宇 赵湛 方震 张博军 
中国科学院微系统创新项目资助。
微型化、集成化可以使得传感系统减少体积、重量,降低成本,提高系统的可靠性,具有重要的科学意义。基于聚酰亚胺材料,利用MEMS技术,设计了一个用于测量大气湿度、温度和气压检测的微型集成传感器。分别采用湿敏电容、铂电阻法和聚酰亚...
关键词：集成传感器 MEMS 聚酰亚胺 湿 度 气 压 
背面引线的新型集成pH－ISFET传感器的研制
《仪器仪表学报》1994年第4期433-436,共4页丁辛芳 牛蒙年 俞海明 丁耘 
背面引线的新型集成ｐＨ－ＩＳＦＥＴ传感器的研制丁辛芳，牛蒙年，俞海明，丁耘（东南大学微电子中心）０引言ｐＨ－ＩＳＦＥＴ同传统的离子选择电极相比更具吸引力［１～５］，因为ＩＳＦＥＴ适于硅工艺大批量生产，降低了单个器件的...
关键词：pH-ISFET芯片 集成传感器 传感器 研制 
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