云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 集成电路工艺

集成电路工艺: 作品数：155被引量：180H指数：7; 导出分析报告; 相关领域：电子电信更多>>; 相关作者：王灯山朴林华朴然朱自强郁可更多>>; 相关机构：中国科学院清华大学复旦大学电子科技大学更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划上海市教育委员会创新基金浙江省自然科学基金更多>>

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制版、光刻、腐蚀与掩模工艺: 《电子科技文摘》2006年第5期27-28,共2页; 0611613 UV-LIGA双层微齿轮加工工艺研究[刊,中]／张晔／／微细加工技术．-2005,(4)．-69-75(D) 0611614 一种新型微小等离子体发生器[刊,中]／王海／／微细加工技术．-2005,(4)．-59-63(D); 关键词：掩模微细加工技术集成电路工艺抗蚀剂等离子体发生器敏感元

电子工艺: 《电子科技文摘》2002年第11期25-26,共2页; 关键词：电子工艺掩模掩膜蚁群系统误差检测会议录集成电路工艺最短路径固体电子学薄膜淀积

制版、光刻、腐蚀与掩模工艺: 《电子科技文摘》1999年第4期44-44,共1页; Y98-61303-9 9904624IC 生产用平版印刷术的材料推挤限制=Pushing thelimits of lithography for IC production[会,英]/Brunner,T.//1997 IEEE International Electron Devices Meet-ing.—9～13(AG)文章从大量生产这个视角去重新审视...; 关键词：平版印刷术光刻技术腐蚀重新审视技术需要集成电路工艺掩模制版关键性视角

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