各向异性刻蚀

作品数：41被引量：64H指数：4
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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：郝一龙殷华湘徐秋霞李永亮毛海央更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所中芯国际集成电路制造(上海)有限公司北京大学上海华虹宏力半导体制造有限公司更多>>
相关期刊：《电子制作》《集成电路应用》《微纳电子技术》《西南大学学报（自然科学版）》更多>>
相关基金：国家自然科学基金上海市卫生系统百名跨世纪优秀学科带头人培养计划航天科技创新基金黑龙江省青年科学基金更多>>
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界面钻蚀主导的准各向异性湿法刻蚀法制备玻璃微棱镜阵列
《光学精密工程》2024年第9期1384-1394,共11页李菲尔 余佳珈 杜立群 吴梦希 刘军山 
国家重点研发计划资助项目(No.2022YFB3204600);大连理工大学医工交叉联合基金资助项目(No.DUT23YG215)。
玻璃微棱镜具有耐腐蚀、耐高温、寿命长等优点,但在玻璃上加工微棱镜阵列目前仍是一个难题。因此,提出了界面钻蚀主导的玻璃准各向异性湿法刻蚀方法,制备了高质量的微棱镜阵列器件。在元胞自动机中引入界面性质调控,模拟了界面钻蚀与各...
关键词：微棱镜 湿法刻蚀 硼硅玻璃 界面钻蚀 准各向异性刻蚀 
模板微电铸工艺制备金字塔形镍纳米尖被引量：1
《光学精密工程》2020年第7期1500-1509,共10页胡亚明 梁军生 杨金鹤 王大志 王立鼎 
国家自然科学基金资助项目(No.51675085);大连市科技创新基金资助项目(No.2019JRGX042)。
为了获得可靠的金属纳米尖的制作方法,设计了基于模板微电铸工艺制备金字塔型纳米Ni尖的工艺流程并进行了实验验证。利用(100)型单晶硅的各向异性腐蚀特性在40%的KOH溶液中腐蚀以制备倒金字塔型的硅模具,采用磁控溅射与正胶剥离工艺获...
关键词：纳米尖 硅模具 各向异性刻蚀 微电铸 种子层 
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