各向异性刻蚀

作品数：41被引量：64H指数：4
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石英微机械惯性传感器的加工技术
《传感器世界》2002年第10期22-24,共3页谭德生 张巧云 
本文讨论了石英微机械陀螺的基本结构和工作原理,叙述了用于石英加工的化学各向异性刻蚀机理,给出了石英音叉传感器的加工方法,提供了我们研制的石英微机械陀螺的试验结果。
关键词：惯性传感器 石英 微机械陀螺 各向异性刻蚀 
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