各向异性刻蚀

作品数：41被引量：64H指数：4
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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：郝一龙殷华湘徐秋霞李永亮毛海央更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所中芯国际集成电路制造(上海)有限公司北京大学上海华虹宏力半导体制造有限公司更多>>
相关期刊：《电子制作》《集成电路应用》《微纳电子技术》《西南大学学报（自然科学版）》更多>>
相关基金：国家自然科学基金上海市卫生系统百名跨世纪优秀学科带头人培养计划航天科技创新基金黑龙江省青年科学基金更多>>
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载药金属微针的结构设计及制备被引量：3
《上海交通大学学报》2012年第9期1428-1430,1435,共4页曹玉田 朱军 曹莹 李以贵 陈翔 陈迪 
国家自然科学基金项目(50775149,60976081);教育部高等学校科技创新工程重大培育项目资助(708037)
提出一种新型载药微针结构设计方案,采用硅的各向异性刻蚀工艺与SU-8胶光刻工艺相结合的方法制备硅与光刻胶复合载药微针模具,将硅的各向异性刻蚀所得棱锥结构用于复制微针的尖端部分,SU-8胶曝光套刻出的带凸起结构的柱体用于复制微针...
关键词：微针 光刻胶 各向异性刻蚀 断裂强度 
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