光读出热成像

作品数：5被引量：15H指数：3
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光读出热成像焦平面阵列的光学与热学设计被引量：1
《光学学报》2004年第11期1543-1546,共4页冯飞 焦继伟 熊斌 王跃林 
国家 973计划集成微光机电系统研究项目(G19990 3310 1)资助课题
针对提出的一种光读出热成像系统 ,对其焦平面阵列的光学和热学特性进行了详细的分析 ,主要涉及法布里珀罗微腔两个反射面的反射率、可动微镜的温度响应、噪声等效温差以及响应时间四个方面。理论分析表明 :当法布里珀罗微腔两个反射面...
关键词：光读出热成像 噪声等效温差 微腔 焦平面阵列 微镜 反射面 响应时间 光学 反射光 光强 
光读出热成像芯片的优化设计与ANSYS模拟被引量：1
《Journal of Semiconductors》2004年第5期552-556,共5页冯飞 焦继伟 熊斌 王跃林 
国家重点基础研究发展规划资助项目 (批准号 :G19990 3 3 10 1)~~
利用一种近似理论——悬臂梁理论对光读出热成像芯片进行了优化设计 ,所采用的 Al/ Si O2 双材料体系 ,其关键性能指标——热 -机械灵敏度可达 6 .6 0× 10 - 8m/ K,与之相对应的最优厚度比为 0 .6 .同时 ANSYS模拟表明 ,可动微镜热 -...
关键词：微机电系统(MEMS) 光读出热成像 可动微镜阵列 热-机械灵敏度 热响应时间常数 
基于法布里珀罗微腔阵列的光读出红外热成像器件设计与制作被引量：4
《光学学报》2004年第10期1375-1380,共6页冯飞 焦继伟 熊斌 王跃林 
国家 973计划集成微光机电系统研究 (G19990 3310 1)资助课题
提出了一种新颖的基于硅基法布里珀罗微腔阵列的光读出红外热成像器件 ,该器件利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像 ,其焦平面阵列 (FPA)是一个基于微机电系统 (MEMS)制作的法布里珀罗微腔阵列。阐明了器件的工作原理 ;完...
关键词：光读出热成像 法布里-珀罗微腔 微机电系统 热-机械灵敏度 
基于MEMS技术的全光热成像芯片与系统的研制被引量：4
《Journal of Semiconductors》2004年第4期477-480,共4页冯飞 焦继伟 熊斌 王跃林 
国家重点基础研究发展规划基金资助项目 (批准号 :G19990 3 3 10 1)~~
提出了一种新颖的非致冷光读出热成像芯片的设计 ,其核心部分是一个 m× n的可动微镜阵列 ,可动微镜是由双材料弯折梁及其所支撑的微镜面组成 .在红外辐射的作用下 ,梁发生弯曲带动微镜面发生的位移变化对输出可见光的强度进行调制 ,即...
关键词：微机电系统(MEMs) 光读出热成像 可动微镜阵列 法布里-泊罗干涉仪 
一种新颖的基于MEMS技术的光读出热成像系统性能分析与制作被引量：6
《红外与毫米波学报》2004年第2期125-130,共6页冯飞 焦继伟 熊斌 王跃林 
国家"九七三"集成微光机电系统研究资助项目 (G19990 3 3 10 1)
提出了一种新颖的光读出红外热成像系统设计 .该系统利用光学读出技术将红外图像直接转化为可见光图像 ,其核心部件是一个基于微电子机械技术 (MEMS)制作的法布里 泊罗 (Fabry Perot)微腔红外探测器列阵 (F PMCIRDA) .通过对Au/SiNx双...
关键词：徽电子机械技术 法布里-泊罗微腔红外探测器列阵 噪声等效温差 光读出热成像 机械-光灵敏度 热-机械灵敏度 
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