光外差

作品数：246被引量：555H指数：11
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基于FPGA的激光外差干涉仪反正切解调技术被引量：3
《计量学报》2022年第3期399-404,共6页柯伟 冯秀娟 杨平 何龙标 邢广振 王敏 
国家重点研发计划资助(2017YFF0205004)。
针对高频声学应用中多普勒信号软件解调的局限,提出了一种基于FPGA的数字硬件信号解调方案。基于AD9467设计了高速ADC采集系统,以实现原始多普勒信号的奈奎斯特采样或带通采样;基于Xilinx Zynq-7000片上芯片系统设计数字信号处理系统,...
关键词：计量学 声学测量 激光外差干涉仪 反正切解调 FPGA 
计量型扫描电子显微镜测控系统研究被引量：2
《计量学报》2016年第5期457-461,共5页张瑞军 高思田 李伟 陈本永 施玉书 李琪 
国家科技支撑项目(2011BAK15B02)
为了解决扫描电子显微镜（SEM）在100nm以下的微纳几何结构尺寸精确测量方面的不足，实现SEM测量值的量值传递与溯源，研制了一套计量型SEM测控系统。该系统主要由位移台运动控制模块、激光干涉位移测量模块和图像采集与处理模块组成，...
关键词：计量学 计量型扫描电子显微镜 量值溯源 运动控制模块 激光外差干涉 图像采集与处理 LabVIEW 
基于锁相环的解调技术研究被引量：3
《计量学报》2015年第4期432-435,共4页罗莹 张志伟 杨宁 
介绍了调相信号的锁相解调技术基本原理以及利用集成锁相环NE564实现对信号的锁相解调。为了解调出不失真的波形，利用集成锁相环NE564和LM725CN芯片设计PM调制解调系统，可以直接实现信号的调制解调功能，利用相位能稳定跟踪的特点避...
关键词：计量学 锁相环 NE564 调制解调 激光外差干涉 
外差干涉仪中偏振分光镜对测量精度的影响被引量：1
《计量学报》2008年第B09期15-18,共4页陈洪芳 谭久彬 钟志 
为了提高激光外差干涉的测量精度，必须明确偏振分光镜（PBS）对激光外差干涉测量精度的影响。基于激光外差干涉非线性误差产生机理，建立了PBS对非线性误差一次谐波和二次谐波的综合影响模型。理论分析表明，选用偏振透射率稍弱、偏振...
关键词：计量学 激光外差干涉 非线性误差 偏振分光镜 
偏振分光镜旋转角度误差的确定被引量：1
《计量学报》2006年第z1期73-76,共4页钟志 杨刚 陈洪芳 单明广 
国家自然科学基金(50275041)
偏振分光镜存在旋转角度误差是引起激光外差干涉非线性误差的来源之一.提出了一种确定激光外差干涉偏振分光镜旋转角度误差的方法.通过分析偏振分光镜旋转角度误差在其它条件下对激光外差干涉非线性误差的影响,得出偏振分光镜存在的旋...
关键词：计量学 激光外差干涉 非线性误差 频谱分析 偏振分光镜 二次谐波 一次谐波 
用于绝对距离测量的0．6328μm氦－氖激光外差干涉仪被引量：4
《计量学报》1994年第1期22-26,共5页赵洋 任伟明 
提出了一种用于绝对距离测量的新型外差干涉仪，它采用０．６３２８μｍ双模氦－氖激光器，光外差干涉和电信号混频、比相技术，直接测量合成波小数级次。此法避免了该领域常用的外差干涉仪的不足和拍波干涉仪结构复杂的问题，而且测量...
关键词：距离 测量 激光外差 干涉仪 
非接触型光外差轮廓仪(英文)被引量：1
《计量学报》1993年第3期177-182,共6页尤政 李柱 
本文介绍一种纳米级非接触型高精度光外差轮廓仪,它是基于普通光路的光外差干涉仪。工件表面被两束有微小频差的激光束所照射,其中一束经聚焦后用作测量光探针来扫描工件表面,另一束则用作参考光束。两束光经表面反射后产生干涉。测量...
关键词：非接触 光外差 表面精糙度 轮廓仪 
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