硅压力传感器

作品数：153被引量：327H指数：8
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扩散硅压力传感器现场使用存在问题和解决对策被引量：3
《仪器仪表用户》2020年第7期18-20,81,共4页李占东 周建国 孟庆馥 
扩散硅压力传感器是目前给排水行业普遍采用测量现场管网压力和水池、水箱水位的电气设备。一般情况下,安装在地下窨井、管廊、车间及露天等潮湿、雨淋甚至存在有害气体的环境,对传感器测量精度、稳定性及使用寿命造成很大影响。实际应...
关键词：扩散硅压力传感器 气压隔离 测量精度 稳定性 使用寿命 
扩散硅压力传感器灵敏度温度归一化补偿算法被引量：1
《仪器仪表用户》2017年第5期1-4,共4页曹庆伟 
文章主要介绍了公司在对于扩散硅压阻式压力传感器灵敏度温度补偿的工作中,经过长期探索、实验,发现了传感器补偿算法。在原先对压力传感器进行灵敏度温度误差补偿纠正的算法中,又加入了调节传感器满量程大小方法,并形成了成熟的归一化...
关键词：扩散硅压阻式压力传感器 灵敏度温度补偿 归一化 
基于MEMS技术的时差振荡高精度硅压力传感器被引量：2
《仪器仪表用户》2016年第12期24-27,30,共5页陈锦荣 
基于MEMS技术的时差振荡高精度硅压力传感器是一种全新理念的高精度压力传感器。它通过检测压力敏感膜片正向和反向电阻的放电时间的比值间接测量压力,为数字信号输出。其抗干扰能力强,性能稳定、结构紧凑,相对微硅压阻压力传感器和微...
关键词：MEMS 时差振荡 数字信号 高精度 低功耗 
扩散硅压力变送器的温度补偿方法被引量：2
《仪器仪表用户》2016年第4期5-7,34,共4页孟丹丹 陈兵 秦文 
天津市科技计划项目(13ZCZDGX01700)
扩散硅压力变送器具有精度高、稳定性好、响应速度快等优点,但容易受温度影响,导致零点漂移和灵敏度漂移。因此需对扩散硅压力变送器进行温度补偿。本文提出了一种软件补偿方法,首先建立扩散硅压力变送器与温度的高阶温度补偿模型,工控...
关键词：扩散硅压力传感器 温度补偿模型 最小二乘回归法 
扩散硅压力传感器特性分析及其应用举例被引量：8
《仪器仪表用户》2007年第5期49-51,共3页乔立永 石成英 李进军 
扩散硅压力传感器具有良好的性能和稳定性。本文说明了扩散硅压力传感器的工作原理,详细分析了对其进行温度综合补偿的电路,然后结合实例,介绍了压力传感器的接口电路和对其进行非线性校正的方法。
关键词：扩散硅 温度补偿 非线性校正 
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