合金薄膜

作品数：238被引量：320H指数：9
导出分析报告
相关领域：一般工业技术金属学及工艺理学更多>>
相关作者：张荣韩平谢自力申德振张振中更多>>
相关机构：中国科学院南京大学上海交通大学复旦大学更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家教育部博士点基金国家高技术研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
选择条件：
  • 期刊=表面技术x
共 条 记 录，以下是1-7
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
基于稳定固溶体团簇模型的无扩散阻挡Cu合金薄膜的成分设计被引量：1
《表面技术》2020年第5期48-60,97,共14页杨冕 利助民 李晓娜 李南军 郑月红 朱瑾 董闯 
国家重点研发计划项目(2017YFB0306100);国家自然科学基金项目(51271045);大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室开放课题项目(KF1803)。
随着超大规模集成电路的发展,器件特征尺寸不断缩小,必然会出现Cu互连扩散阻挡层厚度无法进一步减小等瓶颈问题。因此,开发新型无扩散阻挡层Cu合金薄膜(Cu种籽层)势在必行。该新型互连结构在长时间的中高温(400~500℃)后续工艺实施过程...
关键词：铜合金薄膜 无扩散阻挡结构 稳定固溶体团簇模型 成分设计 热稳定性 电阻率 
基于稳定固溶体团簇模型的含氮铜合金薄膜
《表面技术》2020年第5期75-80,共6页郑月红 张娜 李晓娜 利助民 董闯 喇培清 
大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室开放课题项目(KF1803)。
目的制备结构和性能稳定的含氮铜合金薄膜,提高铜合金的硬度。方法基于稳定固溶体团簇模型在Cu-Ni基合金成分设计方面的研究,进一步利用Nb与N相对较大的负混合焓以及Ni的作用,将N带入Cu中,达到稳定N的目的。采用磁控溅射方法在N2/Ar比为...
关键词：铜合金 磁控溅射 合金薄膜 团簇模型 硬度 电阻率 
非平衡磁控溅射沉积不同成分Ti-Ni合金薄膜的伪弹性研究被引量：2
《表面技术》2013年第4期28-31,共4页徐雪波 贺耀华 贺志勇 鲍明东 
浙江省科技厅分析测试科技计划项目(2011C37035);宁波市重点实验室开放基金项目(2007A22001)
应用非平衡磁控溅射离子镀方法沉积制备了五种不同成分的Ti-Ni合金薄膜,并在保护气体条件下于600℃进行了晶化退火处理。分析了薄膜的相结构,测定了薄膜的硬度和弹性模量,并利用纳米压入加载-卸载曲线分析研究了薄膜的伪弹性回复率,讨...
关键词：形状记忆合金 薄膜 纳米压入 伪弹性 
不同Cu含量的TiNiCu形状记忆合金薄膜的组织与相变被引量：2
《表面技术》2008年第1期42-44,共3页卞铁荣 卢正欣 井晓天 
利用TEM、XRD、DSC测试方法,首次系统地研究了直流磁控溅射制备的3种不同Cu含量的TiNiCu形状记忆合金薄膜的退火组织和加热与冷却过程中发生的相变。结果表明:退火后的薄膜获得了形状记忆性能;随着薄膜中Cu含量的增加,薄膜的退火组织出...
关键词：TINICU形状记忆合金 薄膜 相变 
对向异材磁控溅射靶制备合金薄膜工艺方法
《表面技术》2002年第5期70-70,共1页
关键词：专利 中国科学院沈阳科学食品研制中心 对向异材磁控溅射靶 制备 合金薄膜 工艺方法 溅射速率 
分离靶多弧离子镀Nb-Al合金薄膜及其热腐蚀行为
《表面技术》2000年第4期18-20,共3页张扬伟 王秀兰 李德俊 王富岗 林国强 
采用分离靶多弧离子镀技术，通过改变基片负偏压和分离靶弧电流 以及镀膜时间等参数，在３１０ＳＳ（ｓｔａｉｎｌｅｓｓ ｓｔｅｅｌ）基片上制备了多种成分的 Ｎｂ１－ｘＡｌｘ （０．３８＜ｘ＜０．６４）合金薄膜。结果表明，选择适...
关键词：多弧离子散 分离靶 薄膜 热腐蚀 钕铝合金 
电镀镍及铁镍合金薄膜的热膨胀研究被引量：6
《表面技术》2000年第2期8-10,共3页刘筱薇 张轩雄 
用高温Ｘ射线衍射对４种成分的电镀Ｆｅ－Ｎｉ合金薄膜和电镀Ｎｉ膜及 Ｎｉ粉的热膨胀特性进行了研究，结果表明：电镀薄膜普遍具有织构，且热膨胀系数普遍高于相同的体材料的热膨胀系数，同时在一定程度上仍保持与相同体材料相似的特...
关键词：合金薄膜 热膨胀 电镀 镀镍 镀合金 铁镍合金 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部