厚度测量

作品数:782被引量:2027H指数:18
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平面流动皂膜的表面张力系数及厚度测量被引量:3
《实验流体力学》2020年第3期90-96,共7页周泽友 万冬梅 徐海涛 
在流体力学实验中,平面流动皂膜得到大量应用(如用于模拟两维湍流流动或超声速流动),对皂膜的测量手段也得到了极大发展,但对流动皂膜特性参数的测量尚有可提高之处。本文给出了两根平行弹性线之间在重力驱动下稳定流动的皂膜的表面张...
关键词:流动皂膜 表面张力系数测量 厚度测量 
太赫兹波在绝缘材料测厚中的应用被引量:5
《高压电器》2020年第5期175-181,共7页张量 张中浩 刘建军 梅红伟 杨立恒 王黎明 高嵩 
国家重点研发计划(2017YFB0902702);国网江苏省电力有限公司科技项目(J2017042)。
太赫兹波在绝缘介质中的传播速度与折射率相关,在材料折射率已知的情况下,通过太赫兹波的时延特性可实现材料的厚度测量。电网设备中的许多绝缘部件由于结构不规则、不能破坏,其厚度难以用常规方法直接测量,而太赫兹波的特性使其具有一...
关键词:太赫兹 厚度测量 反射波 透射波 
陶瓷涂层厚度的水浸超声谐振测量被引量:3
《无损检测》2017年第3期1-4,共4页李永杰 韩赞东 
采用水浸超声谐振方法,结合全相位频谱分析技术,对304不锈钢基体上的厚度在1mm以下的氧化铝陶瓷涂层的厚度进行测量。结果表明:基于全相位频谱分析技术的水浸超声谐振方法测得的涂层厚度与实际厚度的相对误差小于2%,可以较为精确地实现...
关键词:陶瓷涂层 厚度测量 超声谐振 全相位技术 
基于单能射线的厚度测量系统合金补偿研究被引量:2
《原子能科学技术》2015年第5期930-934,共5页张晓敏 吴志芳 张玉爱 苗积臣 
针对高精度射线在线检测技术中存在的合金补偿问题,提出了窄束单能入射射线下合金补偿的理论计算公式,找出了合金补偿系数和厚度之间的规律。通过实验方法测量了实际系统中的合金补偿系数,验证了理论分析的正确性。利用蒙特卡罗程序MCNP...
关键词:合金补偿 单能射线厚度测量 蒙特卡罗方法 
晶圆表面金属薄膜的纳米精度在线测量方法与实现被引量:4
《中国基础科学》2013年第4期36-43,共8页赵乾 曲子濂 余强 路新春 孟永钢 
973计划(2009CB724207);02专项(2008ZX02104-1)
本文主要介绍了晶圆加工中的几何参数的纳米精度在线测量的原理、方法和测量仪器研究。针对化学机械抛光(CMP)中晶圆表面的金属膜厚的高精度快速在线和离线检测技术的要求,通过数值模拟和理论分析,研究了涡流传感器的参数对其灵敏度的...
关键词:涡流传感器 纳米精度金属薄膜厚度测量终点检测 化学机械抛光 
基于光谱椭偏术的Si球表面氧化层厚度测量被引量:1
《光电子.激光》2011年第9期1376-1379,共4页吴学健 张继涛 李岩 罗志勇 尉昊贇 
清华大学自主科研计划资助项目(2009THZ06057)
为改善X射线晶体密度法测得的阿伏伽德罗常数的标准不确定度,研制了一种基于光谱椭偏术和二维Si球扫描机构的Si球表面氧化层厚度自动扫描测量系统,用于测量直径约93.6 mm、质量约1 kg的单晶Si球表面氧化层平均厚度。用本文系统对标准Si...
关键词:测量 氧化层 光谱椭偏 扫描机构 Si球 
一种用于X射线胶管壁厚测量的数据处理方法
《核电子学与探测技术》2010年第2期161-165,共5页刘浩然 李新秋 刘大江 
介绍透射式X射线胶管壁厚测量系统,并提出了一种数据处理方法,对获得的一维图像数据线性化后进行拟合,给出了实际数据和仿真数据的处理结果。
关键词:X射线 厚度测量 胶管 偏心度 
基于X射线衍射的GaN薄膜厚度的精确测量
《物理学报》2008年第11期7119-7125,共7页李洪涛 罗毅 席光义 汪莱 江洋 赵维 韩彦军 郝智彪 孙长征 
国家自然科学基金(批准号:60536020,60723002);国家重点基础研究发展计划(973)项目(批准号:2006CB302801,2006CB302804,2006CB302806,2006CB921106);国家高技术研究发展计划(863)(批准号:2006AA03A105);北京市科委重大计划(批准号:D0404003040321)资助的课题~~
结合Williamson-Hall plot方法和线型分析方法的优点,提出了一种有效分离有限晶粒尺寸和非均匀应力等X射线衍射展宽效应的方法,可以用于GaN外延层厚度等参数的快速精确测量.用该方法对一系列在蓝宝石衬底上生长的厚度在0.7—4.2μm的Ga...
关键词:GAN薄膜 厚度测量 X射线衍射 
光学三角—电涡流复合传感器被引量:2
《仪表技术与传感器》2000年第4期1-2,8,共3页张玲香 李岩 张书练 韩艳梅 陈守平 
利用电涡流效应和光学三角测量原理 ,研制出光学三角—电涡流复合传感器 ,主要应用于对涂覆在金属体上的非金属层厚度的测量。并且能够满足工业自动检测中高精度和非接触测量要求 ,同时测量范围和精度可随不同的应用要求而进行大范围的...
关键词:电涡流 光学三角 复合传感器 偏心 厚度测量 
热轧钢板的厚度测量技术
《核工业自动化》1999年第3期20-24,共5页操良文 雷健 
本文简要论述了如何利用γ射线来在线测量热轧厚钢板的厚度。介绍了在测量中所选用的放射源和探测器。列举了一些在轧制现场中会遇到的问题并给出了解决这些问题的方法。同时介绍了在线测量时用单片机软件求对数的方法来模拟测量曲线以...
关键词:放射源 探测器 热轧 校正 钢板 厚度测量仪 
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