风速

作品数：7754被引量：31163H指数：63
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双控制模式MEMS风速风向传感器设计、仿真及制备
《传感技术学报》2024年第5期750-755,共6页田舟洲 谢雨珏 易真翔 秦明 
国家自然科学基金项目(61727812)。
针对恒温差模式下的MEMS风速风向传感器量程较小等问题,首次提出了一种恒温差和温度平衡双控制模式的MEMS风速风向传感器芯片。通过改变加热、测温电阻在传感器芯片的位置以及加热电阻的工作状态,用于实现传感器在低风速和高风速下处于...
关键词：微机电系统(MEMS) 热式风速风向传感器 恒温差模式 温度平衡模式 
一种基于光点位置敏感器件的风速风向测试系统设计被引量：3
《东南大学学报（自然科学版）》2010年第6期1222-1225,共4页孙萍 秦明 
国家自然科学基金资助项目(61076071);江苏省高校"青蓝工程"资助项目
以二维位置敏感检测器(PSD)为核心器件设计了二维风速风向测试系统,系统采用激光作为光源,光源射在PSD上的位置反映了环境风速和风向的大小.简要介绍了PSD的原理和特点,分析了测试系统的工作原理,利用矢量计算给出了风速和风向的计算方...
关键词：位置敏感检测器 横向光电效应 风速 风向 位置定位 
低热导率衬底的热风速风向传感器研究被引量：11
《仪器仪表学报》2009年第5期984-989,共6页沈广平 秦明 黄庆安 张骅 吴剑 
国家自然科学基金(90607002;60476019)资助项目
为了提高热风速风向传感器灵敏度,提出了采用低热导率衬底的方法,并利用有限元模拟和实验结果进行了验证。本文设计的传感器采用圆形结构的加热与测温电阻,利用热温差的方法测量风速和风向。为了验证传感器衬底对风速灵敏度的影响,本文...
关键词：MEMS 剥离工艺 风速 风向 流量传感器 热导率 
一种基于MEMS工艺的二维风速传感器的设计被引量：4
《Journal of Semiconductors》2007年第11期1830-1835,共6页沈广平 吴剑 张骅 秦明 黄庆安 
国家自然科学基金资助项目(批准号:90607002)~~
给出了一种基于MEMS工艺的二维热风速传感器的设计、制造以及测试结果.该传感器采用恒功率工作方式,利用热温差的方法测量风速和风向.本传感器采用MEMS剥离工艺在玻璃衬底上同时加工出加热电阻和测温电阻,利用简单可靠的加工工艺实现了...
关键词：MEMS 剥离工艺 风速 风向 流量传感器 
CMOS集成二维风速和风向传感器的研制被引量：5
《仪器仪表学报》2003年第4期340-342,347,共4页张昭勇 秦明 张中平 黄庆安 
提出了一种新型结构的二维风向和风速传感器 ,其芯片上集成有运算放大电路。它主要由位于绝缘薄膜上的热敏感元件和加热电阻所组成 ,其中热敏感元件由两组互相垂直且分别对称放置的铝 /多晶硅型热电堆所构成 ,加热电阻位于热敏感元件的...
关键词：CMOS集成传感器 风速 风向 研制 运算放大电路 热敏感元件 加热电阻 EDP 
基于横向多晶硅二极管的CMOS兼容热风速计被引量：3
《东南大学学报（自然科学版）》2002年第4期569-571,共3页秦明 黄庆安 
江苏省高新技术资助项目 (BG2 0 0 10 3 5 )
提出并试制了一种采用多晶硅横向二极管作为测温元件的CMOS兼容热风速计 .该风速计的加热元件和测温元件均采用多晶硅技术制造 ,工艺与CMOS兼容 .对横向多晶硅二极管的温度敏感特性调查发现 ,其正向电流随温度增加几乎呈线性增加 ,显示...
关键词：CMOS兼容热风速计 横向多晶硅二极管 风速 风向 结构 制备 
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