张骅

作品数:6被引量:19H指数:3
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供职机构:东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室更多>>
发文主题:MEMS风向传感器风速风向传感器风速计封装更多>>
发文领域:电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>
发文期刊:《仪器仪表学报》《微纳电子技术》《电子器件》《传感技术学报》更多>>
所获基金:国家自然科学基金江苏省“青蓝工程”基金更多>>
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低热导率衬底的热风速风向传感器研究被引量:11
《仪器仪表学报》2009年第5期984-989,共6页沈广平 秦明 黄庆安 张骅 吴剑 
国家自然科学基金(90607002;60476019)资助项目
为了提高热风速风向传感器灵敏度,提出了采用低热导率衬底的方法,并利用有限元模拟和实验结果进行了验证。本文设计的传感器采用圆形结构的加热与测温电阻,利用热温差的方法测量风速和风向。为了验证传感器衬底对风速灵敏度的影响,本文...
关键词:MEMS 剥离工艺 风速 风向 流量传感器 热导率 
采用芯片直接安装技术封装的风速风向传感器
《机械工程学报》2009年第1期218-222,共5页沈广平 张骅 吴剑 秦明 黄庆安 
国家自然科学基金重点资助项目(90607002)。
提出一种采用芯片直接安装(Direct chip attach,DCA)技术封装的风速风向传感器的设计,制备和测试结果。该传感器采用圆形结构,利用热温差的方法测量二维风速和风向。其利用两步金属剥离工艺直接将在感风陶瓷基板上芯片制作出传感器芯片...
关键词:芯片直接安装 风速传感器 风向传感器 微系统封装 
一种MEMS热风速计的系统级封装被引量:3
《传感技术学报》2008年第4期571-573,共3页张骅 沈广平 吴剑 秦明 
国家自然科学基金资助课题(64076019)
提出一种MEMS风速计的封装结构,采用这种结构可以集成信号处理电路,实现系统功能。利用ANSYS软件对封装结构进行建模,主要从风速和风向两个方面,对风速计封装前后的性能进行了模拟,并将模拟数据与理想数据和实验数据进行了比较,模拟数...
关键词:MEMS 热风速计 封装 
MEMS热风速计流固耦合模拟被引量:1
《电子器件》2007年第6期2247-2249,共3页张骅 沈广平 吴剑 秦明 黄庆安 
国家自然科学基金资助(60476019);江苏省青蓝工程人才培养计划资助课题
通过设置流-固耦合面和固-固耦合面,采用ANSYS软件对MEMS热风速计进行了有限元模拟,基本解决了热风速计有限元模拟中遇到的多物理场耦合问题.通过对不同风速,不同风向情况下的风速计芯片的热分布进行了模拟和分析,得到了一些有助于芯片...
关键词:流固耦合 MEMS 热风速计 模拟 测量 
一种基于MEMS工艺的二维风速传感器的设计被引量:4
《Journal of Semiconductors》2007年第11期1830-1835,共6页沈广平 吴剑 张骅 秦明 黄庆安 
国家自然科学基金资助项目(批准号:90607002)~~
给出了一种基于MEMS工艺的二维热风速传感器的设计、制造以及测试结果.该传感器采用恒功率工作方式,利用热温差的方法测量风速和风向.本传感器采用MEMS剥离工艺在玻璃衬底上同时加工出加热电阻和测温电阻,利用简单可靠的加工工艺实现了...
关键词:MEMS 剥离工艺 风速 风向 流量传感器 
二维MEMS风速风向传感器的设计与测试被引量:2
《微纳电子技术》2007年第7期285-287,共3页沈广平 吴剑 张骅 秦明 黄庆安 
给出一种基于MEMS工艺的二维风速风向传感器的设计、制造以及测试结果。该传感器加热电阻采用圆形结构,四个测温电阻对称分布在芯片四周。传感器芯片在玻璃衬底上采用两步MEMS剥离工艺加工,加工工艺简单可靠。该传感器采用恒功率工作方...
关键词:二维风速传感器 风向传感器 剥离工艺 热温差原理 
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