复合膜层

作品数：123被引量：370H指数：10
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Al_(2)O_(3)/MgO复合膜层对微通道板性能的影响被引量：4
《表面技术》2021年第6期199-205,共7页张正君 邱祥彪 乔芳建 丛晓庆 李婧雯 任玲 王鹏飞 
目的大幅提高微通道板增益,延长寿命。方法采用原子层沉积技术(ALD)在微通道板(MCP)大长径比(40:1)通道内壁沉积Al_(2)O_(3)/MgO复合膜层材料,对通道内壁二次电子发射层进行增强,改善其二次电子发射特性。通过设计复合膜层结构,采用Al_(...
关键词：微通道板(MCP) 氧化镁 氧化铝 封装 复合膜层 原子层沉积(ALD) 高增益 长寿命 
某低轨星载天线热控防护复合膜层的制备及性能
《电镀与涂饰》2018年第13期585-588,共4页王亚锋 胡江华 王济洲 
针对工作在低地球轨道的某星载天线(基材为3A21铝合金)的结构特点和热控防护要求,采用离子束辅助真空蒸发镀膜技术依次在其上沉积了作为热控防护膜层的二氧化硅和氧化铝,以及作为保护膜的氧化铟锡。考察了膜厚以及基底表面粗糙度对膜层...
关键词：星载天线 铝合金 真空蒸发 热控防护涂层 太阳吸收比 半球发射率 厚度 
TFT-LCD制造工艺中金属或金属复合膜层坡度角的研究被引量：2
《液晶与显示》2018年第3期208-212,共5页范学丽 靖瑞宽 王晏酩 靳腾 董建杰 许永昌 徐斌 章志兴 高矿 
在薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)面板制程中,Gate层(栅极)电路和SD层(源极)电路根据产品电阻等要求可以使用纯金属膜层,如钼、铜等金属膜层,也可以使用金属复合膜层,如铝钼、铝钕钼、钼铝钼等金属复合膜层。当使用不同金属或金属复合...
关键词：坡度角 ETCH RATE 膜层 刻蚀 
碲镉汞红外焦平面器件表面复合膜层钝化技术被引量：6
《红外技术》2015年第10期864-867,共4页韩福忠 耿松 史琪 袁授章 杨伟声 蒋俊 汤金春 
国防基础科研项目
碲镉汞(Hg1-xCdxTe)红外器件的制备过程中,表面钝化工艺对于器件性能具有很大影响。通过实验,研究了溅射功率、靶基距、基片摆动角度等工艺参数对碲镉汞衬底上制备的CdTe/ZnS复合钝化膜层质量的影响。实验结果表明,当CdTe与ZnS溅射靶功...
关键词：碲镉汞 红外探测器 表面钝化 膜层非均匀性 
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