旋转法

作品数:532被引量:811H指数:11
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工件旋转法磨削硅片的亚表面损伤分布被引量:9
《机械工程学报》2013年第3期88-94,共7页高尚 康仁科 董志刚 郭东明 
国家自然科学基金(91023019;91023043);国家重点基础研究发展计划(973计划;2011CB013201)资助项目
集成电路制造过程中,基于工件旋转磨削原理的超精密磨削技术是硅片平整化加工和图形硅片背面减薄的重要加工方法,但磨削加工不可避免会在硅片的表面/亚表面产生损伤,研究磨削硅片的亚表面损伤分布对于分析硅片发生弯曲或翘曲变形的原因...
关键词:硅片 磨削 亚表面损伤 金刚石砂轮 
非平坦下垫面涡度相关通量的校正方法及其在ChinaFLUX中的应用被引量:49
《中国科学(D辑)》2004年第A02期37-45,共9页朱治林 孙晓敏 袁国富 周艳莲 许金萍 张仁华 
中国科学院知识创新工程重大项目(编号:KZCX1-SW-01-01A);国家重点基础研究发展规划项目(编号:G2002CB412501);中国科学院知识创新工程重大项目(CXIOG-E01-04)
涡度相关技术是目前最好的测量地-气交换的微气象方法,但它的使用是有条件的,如仪器应该安装在空旷、平坦和均匀的下垫面进行观测.否则,得到的通量如果不进行必要的校正就可能产生较大的测定误差.在本研究中,将主要讨论在非平坦、非均匀...
关键词:下垫面 涡度 通量 平面拟合 风向 平坦 校正方法 坐标旋转 相关方法 旋转法 
积域上奇异积分算子的L^p有界性被引量:1
《中国科学(A辑)》2001年第5期403-412,共10页陈杰诚 
浙江省人才资金;国家重点基础研究发展规划! (G19990 75 10 5 );国家自然科学基金!重点 (批准号 :196 310 80 );教育部优秀青年教
用旋转法证明了对于Ω∈L(log+L) 2 (Sn -1×Sm -1) ,∫Sn-1Ω(x′,y′)dσ(x′) =0 ( y′∈Sm -1) ,∫Sm -1Ω(x′,y′)dσ(y′) =0 ( x′∈Sn -1) ,带核函数K(u ,v) =Ω(u′ ,v′)u -n v -m的奇异积分算子T是Lp(Rn×Rm)有界的 ,其中...
关键词:奇异积分算子 粗糙核 乘积空间 L(log∧+L)∧2 旋转法 有限性 核函数 齐次核 
单丝热线旋转法用于旋流燃烧器出口参数测量被引量:1
《上海交通大学学报》2000年第9期1195-1199,共5页陈启峰 李德贵 章明川 范浩杰 席时桐 
国家自然科学基金! ( 598760 19);国家重点基础研究发展规划项目! (G19990 2 2 2 0 9- 0 4 )
为了提高湍流流场的测量精度 ,针对旋流燃烧器出口截面上一次风和二次风的不同速度分布特征 ,引入了一种相应的单丝斜热线多方位旋转测量方法 .通过对一旋流燃烧器模型出口参数的测量和分析 ,证明在不同的速度特征区域选取不同的参考速...
关键词:湍流测量 气动测量 热线风速仪 旋流燃烧器 
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