感性耦合

作品数：57被引量：239H指数：9
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面向半导体工艺的平面线圈感性耦合氩等离子体源的三维流体模拟研究
《物理学报》2024年第21期167-176,共10页赵明亮 邢思雨 唐雯 张钰如 高飞 王友年 
国家自然科学基金(批准号:11935005)资助的课题。
针对平面线圈感性耦合氩气放电,本文基于自主开发的三维等离子体流体力学程序,数值模拟了线圈结构以及放电气压对等离子体空间分布的影响.研究表明,由于线圈在环向上具有不对称性,电子密度也具有明显的环向不均匀性.随着气压的增大,这...
关键词：感性耦合等离子体 三维流体模拟 等离子体均匀性 线圈形状 
感性耦合Ar/O_(2)等离子体放电特性的数值模拟
《物理学报》2024年第13期210-219,共10页张雨涵 赵欣茜 梁英爽 郭媛媛 
国家自然科学基金青年科学基金(批准号:11805089);辽宁省教育厅基本科研项目(批准号:LJKMZ20220657);辽宁科技大学大学生创新创业训练计划资助的课题。
本文采用流体力学模型对不同腔室材质下的感性耦合Ar/O_(2)等离子体放电特性进行研究.结果表明,由于中性粒子在不同材质表面的黏附系数不同,因而腔室材质对各活性粒子的密度和空间分布产生了显著的影响.依次采用不锈钢、阳极Al_(2)O_(3)...
关键词：感性耦合等离子体 Ar/O_(2)等离子体 腔室材料 流体力学模拟 
精密机械同轴扫描开关研制
《电子测量技术》2024年第8期14-20,共7页杨轩舻 钱璐帅 富雅琼 徐红伟 王磊 
国家重点研发计划基础科研条件与重大科学仪器设备研发专项(2022YFF0708600);国家自然科学基金(52307021)项目资助。
在精密电测领域,鲜有面向交流自动测试系统的专用同轴扫描开关。针对于此,设计了一种4线制-15通道全同轴扫描开关装置。该装置以步进电机精密运动控制为基础,拖动快插式同轴线组件做X-Y双向定位运动,实现同轴测量通道的可靠自动切换。...
关键词：扫描开关 热电势 泄漏阻抗 寄生电容 感性耦合电势 
带有射频偏压源的感性耦合Ar/O_(2)/Cl_(2)等离子体放电的混合模拟研究被引量：1
《物理学报》2024年第4期209-223,共15页佟磊 赵明亮 张钰如 宋远红 王友年 
国家自然科学基金(批准号:12275041,11935005,12020101005)资助的课题.
在刻蚀工艺中,通常会在感性耦合等离子体源的下极板上施加偏压源,以实现对离子能量和离子通量的独立调控.本文采用整体模型双向耦合一维流体鞘层模型,在Ar/O_(2)/Cl_(2)放电中,研究了偏压幅值和频率对等离子体特性及离子能量角度分布的...
关键词：感性耦合等离子体 偏压源 混合模型 离子能量 离子通量 
大面积矩形感性耦合等离子体源的三维流体力学模拟被引量：1
《力学学报》2023年第12期2891-2899,共9页赵明亮 张钰如 高飞 宋远红 王友年 
国家自然科学基金资助项目(11935005).
利用自主开发的三维流体力学模型程序,对面向平板显示工艺和光伏工艺的大面积矩形感性耦合氩等离子体源进行了数值模拟.该模型自洽地求解了带电粒子以及中性粒子的流体方程和感应电场的波动方程.利用此模型,研究了气压、功率以及线圈形...
关键词：大面积矩形感性耦合等离子体源 三维流体力学模拟 平板显示工艺 光伏工艺 
超高压交流输电线路对埋地金属管道的感性耦合计算模型研究被引量：1
《湖北大学学报（自然科学版）》2023年第4期634-642,共9页秦澔澔 万星辰 翟羽翔 冯满 邓慰 王城闻笛 
国网公司科技项目(SGXJDK00LCJS2100035)资助。
超高压交流输电线路在运行时会对埋地金属管道产生感性耦合影响.本文中基于传输线理论,首先推导出金属管道和输电线路理想平行时的感性耦合计算模型,进一步推导出输电线路和金属管道斜接近、交叉时的互感系数求解公式,据此通过等效思想...
关键词：感性耦合 简化计算模型 超高压输电线路 埋地金属管道 
kA级脉冲电流注入环的电路建模与分析被引量：1
《强激光与粒子束》2022年第9期110-115,共6页董亚运 崔志同 程引会 秦锋 聂鑫 
强脉冲辐射环境模拟与效应国家重点实验室基金项目(SKLIPR1901)。
为满足kA级脉冲电流注入应用需求,设计了一种基于非晶磁芯的电流注入环,其初级线圈采用线缆直接引出的方式,有效解决了传统注入环N型电缆接头耐压不足的问题。之后根据注入环结构建立了其电路模型,并应用粒子群优化算法确定了模型参数...
关键词：脉冲电流注入 kA级 非晶磁芯 电流注入环 感性耦合 
GJB151B CS115的电路仿真分析(二)--标准应用分析
《强激光与粒子束》2022年第6期35-40,共6页崔志同 陈伟 董亚运 聂鑫 吴伟 刘政 
强脉冲辐射环境模拟与效应国家重点实验室基金项目(SKLIPR1901)。
为解决GJB151B CS115电缆束注入脉冲传导敏感度测试项目中的试验设计、效果预估等问题,在介绍不同类型受试线缆感性脉冲电流注入电路模型的基础上,仿真分析了试验设置中的各项因素(线缆设置、末端负载等)对注入到受试设备端口耦合电流/...
关键词：电磁脉冲 CS115 脉冲电流注入 感性耦合 电路仿真 
基于感性检测的非接触式输电线路故障检测装置研究被引量：1
《电器工业》2022年第5期44-48,共5页叶伟权 
针对接触式诊断装置安装时需要停电安装以及对线路的安全有一定的影响等问题,本文提出了一种基于感性检测的非接触式输电线路故障检测装置,首先介绍了非接触式输电线路故障检测装置的工作原理,是基于感性耦合检测的微分环工作原理进行...
关键词：感性耦合 非接触式 故障检测 微分环 输电线路 
牵引网短路故障下的车体电位及车体回流分布特性被引量：1
《高电压技术》2022年第4期1542-1552,共11页周福林 陈明辉 熊进飞 马孟阳 
国家重点研发计划(VP99QT1104Y17002)。
牵引网发生短路故障时,短路大电流会引起列车车体电位和车体回流显著增大,进而对人身安全和车载电气设备正常工作造成威胁。为准确掌握短路工况下车体电位和车体回流的分布大小,需考虑牵引网与列车接地回路间的感性耦合。为此结合牵引...
关键词：牵引网短路 车体电位 车体回流 感性耦合 车–网–地耦合模型 
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