薄膜铂电阻

作品数:23被引量:71H指数:5
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相关作者:马宏伟丁炯叶树亮彭友辉赵伟利更多>>
相关机构:北京航空航天大学北京遥测技术研究所航天长征火箭技术有限公司上海交通大学更多>>
相关期刊:《电子测量技术》《微处理机》《传感技术学报》《金属功能材料》更多>>
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陕西:涵养人尽其才才尽其用好生态
《中国人才》2025年第1期66-67,共2页田增军 梁芝芳 
让西北工业大学副教授罗剑没想到的是,得益于陕西为科研人员“撑腰”的人才政策,不到一年,自己的科技成果就从“书架”走上“货架”,建成国内首条覆盖常温、超低温、超高温薄膜铂电阻自动化生产线,打破了国外对该类产品近30年的垄断。
关键词:科技成果 自动化生产线 科研人员 薄膜铂电阻 人尽其才 才尽其用 超低温 西北工业大学 
薄膜铂电阻温度传感器的应用研究
《中文科技期刊数据库(全文版)工程技术》2024年第5期0132-0135,共4页张韵 
随着科学技术的不断发展和数字经济化时代的到来,传感器作为数字化时代的重要组成部分,扮演着越来越重要的角色。在工业生产中,传感器可用于监测生产过程中的温度、压力、流量等参数,为工业生产过程提供重要的数据支持,实现自动化控制...
关键词:薄膜铂电阻 传感器 数字化时代 
薄膜铂电阻制备工艺研究
《仪器与设备》2024年第1期49-54,共6页张倩 袁燕 于海洋 倪烨 常子硕 孟腾飞 林树超 
薄膜铂电阻在温度测量领域应用广泛,使用数量巨大,在很多行业中,已取代了传统的绕线式铂电阻,但是由于其薄膜制备工艺和结构的不同,薄膜铂电阻的温度特性和稳定性与传统绕线式铂电阻有所不同。本文采用磁控溅射法在陶瓷基体上制备薄膜...
关键词:薄膜 铂电阻 磁控溅射 温度系数 
薄膜铂电阻温度传感器多股线束渐次屈服与断裂失效分析被引量:1
《兵器装备工程学报》2022年第12期201-206,共6页钱诚 胡彩霞 孟津霄 李文娟 
国家重点研发计划项目(2020YFB2009401)。
薄膜铂电阻温度传感器内部导线多为多股线束绞合结构,在尺寸、缠绕结构和材料性能等方面存在分散性,造成导线在拉伸状态下表现出渐次屈服和断裂过程,增加了失效分析的难度。鉴于上述情况,在本文中设计并开展了多股线束拉伸实验来分析多...
关键词:薄膜铂电阻温度传感器 多股线束 渐次屈服 渐次断裂 故障物理分析 
一种在片薄膜铂电阻温度传感器的校准方法被引量:3
《计量学报》2022年第12期1605-1609,共5页许晓青 李锁印 刘晨 赵新宇 赵革艳 吴爱华 
国防技术基础计量项目(JSJL2014210B006)。
在片薄膜铂电阻温度传感器以铂作为感温薄膜,采用半导体工艺制造,可以有效地监测晶圆片上的半导体器件温度。为了校准该类型温度传感器,根据其工作原理和结构特点,参考JJG 229-2010对校准装置的要求,提出了一种利用高低温探针台、八位...
关键词:计量学 温度传感器 微传感器 在片薄膜 高低温探针台 校准方法 
pc-LED双热源热模型实验研究
《西华大学学报(自然科学版)》2022年第4期46-51,共6页谢仁璞 靳斌 杨艳 岳兴鹏 
四川省重点研发项目(2020YFG0171)。
荧光粉转换型白光LED(pc-LED)的热模型是LED散热设计的基础。常用的单热源单通道热模型不能表达pc-LED的实际散热过程,已有的双热源双通道热模型的参数测量需要T3ster和红外热像仪,并忽视了环氧胶在蓝光LED照射下的发热现象。为此,文章...
关键词:pc-LED 薄膜铂电阻 结温 荧光粉温度 双热源双通道热阻模型 
薄膜微结构换能元温度测量技术研究被引量:2
《传感技术学报》2022年第8期1011-1017,共7页张一中 韦学勇 张国栋 赵玉龙 平川 张蕊 任炜 
装备预研领域基金项目(61406190504)。
为了适应火工品微型化、集成化和智能化等发展趋势,薄膜微结构换能元的引发温度测试已成为一项亟需解决的关键问题。采用MEMS技术将薄膜铂电阻和薄膜微结构换能元集成在氮化硅基底上,利用原子力显微镜等设备对薄膜铂电阻的几何尺寸进行...
关键词:MEMS火工品 引发温度 薄膜微结构换能元 薄膜铂电阻 
薄膜铂电阻元件稳定性测试与分析被引量:2
《微处理机》2020年第3期14-16,共3页何迎辉 龙悦 何峰 江方何 
高端军事应用环境对测温传感器提出了小结构、高精度、良好的长期稳定性等要求,采用溅射方式制备的薄膜铂电阻元件成为了首选。通过分析薄膜铂电阻元件的结构、工艺,探讨影响稳定性的主要因素,包括薄膜缺陷、杂质、电迁移、结构封装应...
关键词:薄膜铂电阻 稳定性 水三相点 
一种高精度薄膜铂电阻温度计测量迟滞性的研究被引量:7
《计量学报》2019年第6期1025-1029,共5页张恒 曾凡超 文昌俊 郝小鹏 孙建平 傅承玉 
国家重点研发计划(2018YFB0504700; 2018YFB0504702)
为了研究热迟滞性对工业铂电阻温度计测量不确定度的影响,选取了8支高精度铂电阻温度计进行实验。在-50~150℃内,选择3个温度区间,采用两种标准方法(IEC 60751,ASTM E644)测量水三相点(0.01℃)和所选温度范围内的中间点的迟滞性变化。...
关键词:计量学 薄膜铂电阻温度计 铂丝铂电阻温度计 热迟滞性 测量不确定度 
耐冲刷薄膜铂电阻热流传感器研制被引量:13
《电子测量与仪器学报》2017年第4期623-629,共7页李强 刘济春 孔荣宗 
薄膜铂电阻热流传感器是激波风洞气动热环境试验的主要测量手段,其缺点是不耐冲刷、易损坏,影响风洞试验效率。为增强铂薄膜热流传感器的耐冲刷能力,以厚度0.06μm的铬薄膜作为底衬,既能增强铂薄膜在玻璃基体上的附着力,又不会影响铂薄...
关键词:激波风洞 热流传感器 耐冲刷 多层膜 
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