氮分压

作品数：56被引量：131H指数：6
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不同氮分压下磁控溅射ZrN对钛/瓷结合的影响被引量：3
《稀有金属材料与工程》2011年第5期802-806,共5页王舒舒 吴湘君 光寒冰 周淑 张文艳 章非敏 
江苏省技术引进与合作研发项目(BZ2008059);江苏省"兴卫工程"重点人才项目(RC2007099)
探讨不同氮分压下磁控溅射氮化锆(ZrN)涂层对纯钛与低熔瓷粉(Vita钛瓷粉系统)结合强度的影响。60个纯钛基片随机分为1个对照组和3个实验组。实验组分别在不同氮分压下(Ta组1.0×10-2Pa,Tb组5.0×10-2Pa和Tc组10.0×10-2Pa)溅射沉积ZrN...
关键词：氮化锆(ZrN) 磁控溅射 氮分压 钛瓷 结合强度 
铝合金上电弧离子镀(Ti,Al)N膜的腐蚀特性被引量：2
《稀有金属材料与工程》2010年第A01期259-262,共4页宋贵宏 张硕 李锋 陈立佳 
辽宁省科委博士科研启动基金(20041022);辽宁省教育厅科技研究项目(2004F006)
研究铝合金上电弧离子镀(Ti,Al)N膜层的腐蚀性能。通过对3种N2气分压下沉积膜层的阳极极化曲线、电化学阻抗谱、盐雾腐蚀失重曲线以及表面形貌的分析表明:沉积过程氮分压较低时,膜层中含有富金属相,耐腐蚀性能较低;增加氮分压使膜层中...
关键词：AL合金 腐蚀 (Ti Al)N膜 电弧离子镀 氮分压 
不同氮分压制备纳米复合Zr-Si-N薄膜的组织与性能研究(英文)被引量：1
《稀有金属材料与工程》2009年第5期753-756,共4页王剑锋 马大衍 宋忠孝 唐武 徐可为 
Supported by National Basic Research Program (973 program) (No. 2004CB619302);the National Natural Science Foundation of China (No. 50601020, 50601005);Applied Materials (Xi’an) Foundation (No. XA-AM-200617)
利用射频反应磁控溅射设备在不同N2分压下制备了Zr-Si-N纳米复合薄膜。研究了N2分压对薄膜组织和性能的影响。结果表明:随着N2分压的增加,薄膜中Zr、Si元素含量比降低,且薄膜方电阻增加;Zr–Si–N薄膜的微观组织由纳米晶ZrN嵌入SiNx非...
关键词：Zr-Si—N薄膜 磁控溅射 微观组织 性能 
磁控溅射氮分压对Nb-Si-N薄膜结构和性能的影响被引量：1
《稀有金属材料与工程》2006年第6期978-981,共4页王剑锋 宋忠孝 徐可为 范多旺 
国家重点基础研究发展计划"973"项目(004CB619302);国家自然科学基金(NSFC)(50471035);光电技术与智能控制教育部重点实验室(兰州交通大学)开放基金资助项目(K040119)
用反应磁控溅射法在不同的氮分压下沉积了Nb-Si-N薄膜。结果表明:Nb-Si-N膜的成分、结构和性能随氮分压的改变而不同。随氮分压的增加,Nb-Si-N膜的Nb/Si比和表面粗糙度减小;薄膜的电阻值和微硬度增加。Nb-Si-N膜的结构为纳米晶NbN与类似...
关键词：磁控溅射 Nb-Si-N 氮分压 结构 
氮分压对离子镀氮化钛涂层的影响被引量：1
《稀有金属材料与工程》1994年第A05期61-64,共4页焦文强 肖国珍 黄春良 杨子军 
研究了氮分压对空心阴极离子镀氮化钛涂层性能的影响。结果表明：在１．３３×１０（－２）～２．２１×１０（－１）Ｐａ氮分庄范围内，显微硬度随氮分区增加而增加，在２×１０（－２）Ｐａ时显微硬度出现最大值，而后随氮分压的增加...
关键词：离子镀 氮化钛 氮分压 抗磨损 
基体温度和氮分压对（Ti，Al）N涂层性能的影响被引量：3
《稀有金属材料与工程》1994年第3期55-58,共4页王永康 程祥宇 王伟民 顾晓红.李炳生 
运用ＰＶＤ工艺在Ｍ２高速钢表面沉积了（ＴｉＡｌ）Ｎ涂层，用ＳＥＭ、ＴＥＭ和ＸＲＤ方法对涂层显微组织和结构进行了分析研究，并对涂层的性能进行测试。结果表明，涂层的显微硬度和耐磨性随涂镀时基体温度上升而提高，在ＴＳ＝４８...
关键词：PVD 涂层 硬度 耐磨性 氮化物 
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