吴湘君

作品数:6被引量:31H指数:4
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供职机构:东南大学更多>>
发文主题:直流磁控溅射表面形貌CRN薄膜磁控溅射制备磁控溅射更多>>
发文领域:一般工业技术金属学及工艺医药卫生交通运输工程更多>>
发文期刊:《真空科学与技术学报》《中国有色金属学报》《功能材料》《机械工程材料》更多>>
所获基金:国家科技支撑计划国家自然科学基金江苏省高等学校大学生实践创新训练计划项目更多>>
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层厚比对磁控溅射Cr/CrN多层涂层组织和性能的影响被引量:5
《材料工程》2014年第11期28-33,共6页谈淑咏 吴湘君 张旭海 张炎 蒋建清 朱雪锋 江先彪 
国家自然科学青年基金(51301087);国家自然科学青年基金(51201033);南京工程学院校级科研基金项目资助(YKJ201210);江苏省大学生实践创新训练计划项目(201411276002Z);南京工程学院大学生科技创新基金(N20140224);南京工程学院校级青年基金一般项目(QKJB201202)
在超高真空磁控溅射仪上,制备了一系列具有相同调制周期不同层厚比的Cr/CrN涂层。用X射线衍射仪分析了涂层的相组成,通过扫描电镜观察了涂层形貌,采用显微硬度计测试了涂层硬度,在划痕仪上确定涂层和基体间的结合力,并利用磨损仪测量涂...
关键词:Cr/CrN多层涂层 层厚比 硬度 磨损率 
氮流量比对直流/射频磁控溅射CrN涂层耐腐蚀性的影响被引量:4
《真空科学与技术学报》2013年第12期1246-1250,共5页谈淑咏 吴湘君 张旭海 蒋建清 
南京工程学院校级科研基金项目资助(YKJ201210);国家自然科学青年基金项目(51201033);国家自然科学部主任基金项目(51141004)
采用直流/射频磁控溅射法,在不同氮流量比条件下制备了CrN涂层。利用扫描电镜、X射线衍射、显微硬度计和电化学测试系统研究了氮流量比对涂层组织和性能的影响,并对涂层腐蚀机制进行了初步探讨。研究结果表明:不同氮流量比条件下,直流溅...
关键词:直流 射频磁控溅射 CRN涂层 氮流量比 耐腐蚀性 
Si基底磁控溅射制备CrN薄膜的表面形貌与生长机制被引量:6
《中国有色金属学报》2011年第6期1367-1372,共6页谈淑咏 张旭海 吴湘君 蒋建清 
国家科技支撑计划资助项目(2007BAE15B05)
在Si基底上采用直流磁控溅射法制备CrN薄膜,利用原子力显微镜(AFM)、扫描电镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)分析薄膜表面形貌和物相成分,探讨薄膜生长的动力学过程。结果表明:只有当生长时间足够(1 800 s)时,才能形成具有CrN相的薄膜。随着Cr...
关键词:直流磁控溅射 表面形貌 粗糙度 生长指数 
不同氮分压下磁控溅射ZrN对钛/瓷结合的影响被引量:3
《稀有金属材料与工程》2011年第5期802-806,共5页王舒舒 吴湘君 光寒冰 周淑 张文艳 章非敏 
江苏省技术引进与合作研发项目(BZ2008059);江苏省"兴卫工程"重点人才项目(RC2007099)
探讨不同氮分压下磁控溅射氮化锆(ZrN)涂层对纯钛与低熔瓷粉(Vita钛瓷粉系统)结合强度的影响。60个纯钛基片随机分为1个对照组和3个实验组。实验组分别在不同氮分压下(Ta组1.0×10-2Pa,Tb组5.0×10-2Pa和Tc组10.0×10-2Pa)溅射沉积ZrN...
关键词:氮化锆(ZrN) 磁控溅射 氮分压 钛瓷 结合强度 
氮流量比对直流反应磁控溅射制备氮化铬涂层组织和性能的影响被引量:6
《机械工程材料》2010年第7期34-37,共4页谈淑咏 张旭海 吴湘君 蒋建清 
国家科技支撑计划资助项目(2007BAE15B05)
采用直流磁控溅射法制备氮化铬涂层,研究了氮流量比对涂层相结构、表面形貌和硬度和涂层结合力的影响。结果表明:当氮流量比在30%~100%变化时,涂层主要由CrN相构成;随氮流量比增加,涂层晶粒形貌由三角锥转变为三角锥与球状共存,涂层变...
关键词:直流磁控溅射 氮流量比 氮化铬涂层 
基底负偏压对直流磁控溅射CrN薄膜择优取向及表面形貌的影响被引量:11
《功能材料》2010年第6期1015-1018,共4页谈淑咏 张旭海 李纪宏 吴湘君 蒋建清 
国家科技支撑计划资助项目(2007BAE15B05)
直流磁控溅射法制备不同基底负偏压下的CrN薄膜,采用XRD分析薄膜相结构,EDS分析薄膜表面成分,SEM观察薄膜表面形貌,并对偏压作用机制进行了探讨。结果表明,当Ar流量6ml/min、N2流量30ml/min时,在基底负偏压增大过程中,CrN薄膜始终由CrN...
关键词:基底负偏压 择优生长 表面形貌 直流磁控溅射 
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