MWPCVD

作品数：20被引量：40H指数：3
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相关领域：理学一般工业技术更多>>
相关作者：邬钦崇舒兴胜杨国伟俞世吉马腾才更多>>
相关机构：中国科学院等离子体物理研究所湘潭大学大连理工大学合肥工业大学更多>>
相关期刊：《高技术通讯》《电子科技大学学报》《无机化学学报》《物理学报》更多>>
相关基金：国家高技术研究发展计划湖南省自然科学基金国家教委资助优秀年轻教师基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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微波方法制备(100)晶面取向的金刚石薄膜被引量：2
《科学通报》1998年第6期647-651,共5页顾长志 金曾孙 吕宪义 邹广田 坂本幸弘 高谷松文 
国家教委博士点基金!(批准号 :951830 7)资助项目
采用MWPCVD制备金刚石膜的方法 ,以甲烷和一氧化碳为碳源气体 ,在适当的衬底温度与反应气体配比条件下 ,通过使衬底匀速转动 ,合成出具有 (10 0 )晶面取向的均匀生长的金刚石薄膜 ,在优化的工艺条件下这种定向金刚石膜的生长与单晶硅衬...
关键词：金刚石膜 定向生长 MWPCVD 微波法 制备 
金刚石在C_(60)薄膜表面的气相成核被引量：8
《科学通报》1996年第13期1181-1184,共4页杨国伟 刘大军 袁放成 何金田 张兵临 毛友德 
国家教委优秀年轻教师基金;湖南省自然科学基金资助项目
金刚石薄膜是一种性能优异的功能薄膜,比颗粒状金刚石材料有着更为广泛的应用领域,尤其是在光学和微电子学方面,因此近年来受到极大的关注。然而,在气相沉积金刚石薄膜中,金刚石在光滑非金刚石衬底表面难以成核。为了提高金刚石在光滑...
关键词：金刚石 薄膜 碳60 气相生长 MWPCVD 
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