高谷松文

作品数：2被引量：3H指数：1
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发文主题：金刚石薄膜金刚石膜MWPCVD化学气相沉积金刚石更多>>
发文领域：理学一般工业技术更多>>
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微波方法制备(100)晶面取向的金刚石薄膜被引量：2
《科学通报》1998年第6期647-651,共5页顾长志 金曾孙 吕宪义 邹广田 坂本幸弘 高谷松文 
国家教委博士点基金!(批准号 :951830 7)资助项目
采用MWPCVD制备金刚石膜的方法 ,以甲烷和一氧化碳为碳源气体 ,在适当的衬底温度与反应气体配比条件下 ,通过使衬底匀速转动 ,合成出具有 (10 0 )晶面取向的均匀生长的金刚石薄膜 ,在优化的工艺条件下这种定向金刚石膜的生长与单晶硅衬...
关键词：金刚石膜 定向生长 MWPCVD 微波法 制备 
微波等离子体CVD方法制备金刚石薄膜被引量：1
《吉林大学自然科学学报》1997年第3期67-69,共3页顾长志 金曾孙 吕宪义 邹广田 高谷松文 坂本幸弘 
国家教委博士点基金
采用微波等离子体化学气相沉积方法分别在CH4／H2，CO／H2和（CH4＋CO）／H2气体体系下合成了金刚石薄膜．结果表明，所合成的金刚石薄膜具有明显的柱状生长特性和较高的品质，（CH4＋CO）／H2体系合成的金刚石薄膜具有较高的生长速率和...
关键词：金刚石 薄膜 微波等离子体 化学气相沉积 制备 
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