SOI材料

作品数：103被引量：62H指数：4
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基于SOI原理的特种车辆用压力传感器的研制被引量：1
《电子世界》2019年第21期147-148,共2页金琦 孙晓峰 李广恒 李斌 王静 
1.引言车辆发动机进气歧管内压力,通过专用的压力传感器测量,并通过放大电路将其转换成标准电压信号,传输到车辆控制系统,从而达到控制喷油量的作用,保证发动机正常工作。该压力传感器的核心芯片采用SOI材料,利用微电子技术和集成电路...
关键词：压力传感器 温度性能 产品技术要求 集成电路工艺 特种车辆 车辆发动机 SOI材料 静态性能 
SOI LDMOS功率器件的研究与制备被引量：1
《微处理机》2007年第2期11-13,共3页程新红 杨文伟 宋朝瑞 俞跃辉 姜丽娟 王芳 
上海市自然科学基金(03ZR14109)
根据REUSRF原理,对器件参数进行优化。采用与常规CMOS工艺兼容的技术,在SIMOX片上制备了薄膜SOI LDMOS功率器件。器件呈现良好的电学性能:漏极偏压5V时,泄漏电流仅为1nA;当漂移区长度为4μm时,关态击穿电压达到50V,开态击穿电压大于20V...
关键词：SOI材料 功率器件 LDMOS功率 
利用SOI材料提高触觉传感阵列的性能
《Journal of Semiconductors》1991年第11期695-699,共5页吕世骥 黄庆安 童勤义 袁璟 
国家自然科学基金
利用半导体材料、平面工艺和微机械加工研制触觉传感器是当前触觉传感器研究开发的一个重要方面,其中硅膜片电容式触觉传感阵列则是在研究中被广泛采用的结构.然而,触觉传感阵列的性能常受到微机械加工精度的限制.为了提高电容式触觉传...
关键词：触觉传感器 SOI材料 微加工 
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