亚微米集成电路

作品数：36被引量：81H指数：4
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亚微米集成电路的ESD保护设计
《微电子学》2012年第2期206-209,共4页袁博鲁 万天才 
介绍了一种带ESD瞬态检测的VDD-VSS之间的电压箝位结构,归纳了在设计全芯片ESD保护结构时需要注意的关键点;提出了一种亚微米集成电路全芯片ESD保护的设计方案,从实例中验证了亚微米集成电路的全芯片ESD保护设计。
关键词：亚微米集成电路 ESD保护 电压箝位 
超深亚微米单元工艺库快速表压缩方法被引量：2
《微电子学》2004年第1期41-44,47,共5页栾志国 严晓浪 罗小华 葛海通 
国家自然科学基金资助项目(90207002)
　针对超深亚微米集成电路工艺库中的快速查表模型,提出了一种新的曲面拟合方法,实现了表压缩。从建立相应的数学模型入手,提出一种完备的表压缩方法。试验结果表明,在指定表大小的前提下,此压缩方法能在整体上得到相当小的偏差。
关键词：超深亚微米单元工艺库 快速表压缩模型 超深亚微米集成电路 曲面拟合 表压缩 
亚微米CMOSIC中自对准硅化物工艺的研究被引量：1
《微电子学》2002年第5期355-356,361,共3页王万业 徐征 刘逵 
自对准硅化钛工艺有许多重要的优点。但也存在栅氧化物的完整性、硅化物桥接短路、pn结损伤、二极管特性退化等问题。文章针对这些问题 ,在硅化前和硅化后的清洗、硅化的快速退火处理、接触电阻最佳化以及在硅化物上的接触孔腐蚀的选择...
关键词：亚微米集成电路 VLSI制造 自对准硅化物 硅化物 CMOS器件 IC工艺 
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