XY工作台

作品数：19被引量：45H指数：4
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微电子封装设备精密定位系统的分析被引量：2
《装备制造技术》2008年第11期41-44,共4页印波 李克天 刘吉安 蔡召虎 陈铁强 
根据微电子封装设备定位平台高速高精度的特点,讨论了精密定位系统中工作台的机构形式、驱动方式、运动控制器、实时检测等关键技术的现状,为研发新型微电子封装高精密定位系统提供参考。
关键词：精密定位 XY工作台 驱动方式 运动控制器 实时检测 
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