ZNO压电薄膜

作品数：20被引量：43H指数：4
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相关作者：乔东海郝震宏汪承灏汤亮崔岩更多>>
相关机构：中国科学院电子科技大学北京航空航天大学四川压电与声光技术研究所更多>>
相关期刊：《传感技术学报》《光学精密工程》《中国机械工程》《应用声学》更多>>
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采用ZnO压电薄膜的声光偏转器研制被引量：2
《压电与声光》2012年第1期21-22,26,共3页刘彪 张晓容 易平 朱吉 
研究了基于ZnO压电薄膜结构的1GHz声光偏转器。通过采用半导体工艺流程制备器件,并利用射频网络分析仪对实验器件进行了测试,得到器件达到的性能指标:中心频率1.05GHz、带宽500MHz、衍射效率1%、渡越时间1.5μs。
关键词：声光偏转器 ZNO压电薄膜 带宽 
ZnO压电薄膜双面共溅生长技术被引量：2
《压电与声光》2010年第4期629-630,633,共3页郑泽渔 汤劲松 朱昌安 周勇 王宗富 
在只有一个靶源的情况下,利用改良的夹具,在钇铝石榴石(YAG)晶体的两端用反应磁控溅射法同时溅射生长ZnO压电薄膜。对ZnO压电薄膜做了X-射线衍射(XRD)分析,测试了用双面方法制作的声体波薄膜换能器的回波损耗。结果表明,采用双面共溅工...
关键词：氧化锌 压电薄膜 溅射 声体波 
提高DC平面磁控溅射中靶材利用率的新方法
《压电与声光》2005年第6期698-699,共2页周勇 
目前已得到广泛应用的DC平面磁控反应性溅射制备ZnO压电薄膜，由于靶面氧化和靶表面氧化物的沉积，导致放电电阻增加和靶表面的弧光放电，严重影响压电薄膜的生长和靶材利用率。该文介绍了一种采用稀硝酸对已被氧化的金属锌靶进行清洗...
关键词：金属Zn靶 ZNO压电薄膜 反应性溅射 靶材利用率 
激励剪切振动模式的ZnO压电薄膜的研制被引量：1
《压电与声光》1990年第2期18-21,共4页晏光华 陈运祥 
本文介绍用于激励剪切振动模式的ZnO压电薄膜的制备方法、性能及应用前景.采用辅助阳极环,改变基片角度等的RF平面磁控溅射技术,在低气压、高速率的溅射条件下,制备出了c轴偏离基片法线40°,声速为2830m/s,机电耦合系数达到29—32%的Zn...
关键词：ZNO 压电薄膜 激劢 剪切波 振动 
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