CMOS兼容

作品数：42被引量：54H指数：4
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相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
相关作者：黄庆安王跃林徐德辉秦明李铁更多>>
相关机构：中国科学院东南大学中国科学院大学天津大学更多>>
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一种新型CMOS兼容湿度传感器被引量：7
《Journal of Semiconductors》2004年第2期174-178,共5页顾磊 黄庆安 秦明 张中平 严先蔚 
给出了与 CMOS工艺兼容的一种新型梳齿状湿度传感器的结构、工艺流程及其测试结果 .利用 Coventor软件对这种新型结构进行了理论分析 ,对制备出的湿度传感器的性能如灵敏度、滞回特性、重复性、响应时间等进行了测试并讨论 .结果表明文...
关键词：湿度传感器 微电子机械系统 CMOS MEMS 
CMOS兼容光电单片接收机的模拟与设计被引量：1
《Journal of Semiconductors》2003年第9期960-965,共6页李炜 毛陆虹 陈弘达 孙增辉 高鹏 陈永权 
国家高技术研究发展计划 (批准号 :2 0 0 2AA312 2 4 0 ;2 0 0 1AA12 2 0 32 ;2 0 0 1AA312 0 80 );国家自然科学基金 (批准号 :6 9896 2 6 0 )资助项目~~
设计了与CMOS工艺兼容的光电单片接收机电路 ,其中包括光电探测器、前置放大器和主放大器 .它采用0 6μmCMOS工艺 ,可在自备的高阻外延片上使用MPW(multi project wafer)进行流水 .其中光电探测器的工作波长为 850nm ,响应度为 0 2A/...
关键词：单片集成 光电探测器 器件模拟 
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