IBAD

作品数:66被引量:177H指数:6
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离子能量对 IBAD-MgO 双轴织构的影响
《上海大学学报(自然科学版)》2025年第1期115-121,共7页瞿天睿 韩超 高波 白传易 李敏娟 彭思思 周迪帆 蔡传兵 
国家重点研发计划资助项目(2022YFE03150200);国家自然科学基金资助项目(52172271,52307026,52477022);上海市科技创新行动计划资助项目(23511101600)。
采用离子束辅助沉积(ion beam-assisted deposition,IBAD)技术在非织构的金属基带上沉积双轴织构的MgO薄膜,研究了不同Ar^(+)离子束流能量对MgO双轴织构和表面形貌的影响.结果表明:在700∼1000 eV离子能量范围内,MgO薄膜的双轴织构随离...
关键词:离子束辅助沉积 离子能量 双轴织构 
灯丝型辅助离子源的设计及其对薄膜参数的改善研究
《电镀与精饰》2024年第7期99-106,共8页任翼 张殷 周亚东 金尚忠 
国家科学自然基金项目-表面等离激元增强效应模型建立及验证研究(22204154)。
为了以较低成本的技术提高磁控溅射沉积薄膜的纯度、致密性和均匀性,设计出一种可以活化氧气的双腔室直流加热灯丝型辅助离子源。通过实验改变辅助离子源的工作参数,探究其对磁控溅射镀膜机所沉积薄膜的光学参数的影响。通过对比不同工...
关键词:离子源 结构设计 离子束辅助沉积(IBAD) 光学薄膜 
Preparation of double-sided biaxially textured magnesium oxide thin films
《Rare Metals》2023年第6期2075-2080,共6页Hao Tang Yin-Chang Ma Rui-Peng Zhao Bo-Wan Tao 
financially supported by the National High Technology Research and Development Program of China (No.2014AA032702)。
A high-efficiency system was designed as an improvement in conventional reel-to-reel system for ion beam-assisted deposition(IBAD) and homo-epitaxy of double-sided biaxially textured MgO thin films.This system enables...
关键词:Coated conductors IBAD-MgO Doublesided Automatic flipping 
IBAD制备WS2-Ag固体润滑膜长期存储后的摩擦磨损性能被引量:2
《机械工程学报》2018年第6期41-47,共7页邱维维 金杰 吕丽丽 孟祥宇 孟晖 
博士后基金资助项目(2016M601008,2017T100069)
采用离子束辅助沉积技术在9Cr18轴承钢材料上制备掺杂Ag的WS2固体润滑膜,并将该膜层在室内环境(温度为1825℃,空气相对湿度为30%50%)中保存8年。通过摩擦磨损试验机(MS-T3000)、场发射扫描电子显微镜、三维形貌仪及XPS检测保存前、...
关键词:固体润滑膜 WS2-Ag 长期存放 抗潮解 
IBAD制备WS_2-Ag固体润滑膜在海南湿热环境的耐候性能被引量:6
《中国表面工程》2016年第3期26-33,共8页金杰 黄晓林 邱维维 崔华威 孟祥宇 
北京机械工业自动化研究所所基金(10211281042)
为了研究固体润滑膜的耐候性失效行为,利用考夫曼离子源与磁控溅射相结合的离子束辅助沉积(IBAD)技术在9310基底材料上制备Ag掺杂WS_2固体润滑膜。通过海南湿热环境挂片、摩擦磨损性能测试以及Pro-XPS、XRD和FESEM检测技术,检测膜层的...
关键词:固体润滑膜 湿热 WS2-Ag复合膜 挂片试验 氧化 
Microstructure and mechanical properties of Ti Al Si N nano-composite coatings deposited by ion beam assisted deposition被引量:12
《Science China(Technological Sciences)》2015年第10期1682-1688,共7页SU Kang LIU DaMeng SHAO TianMin 
supported by the National Natural Science Foundation of China(Grant No.51105222);the State Key Basic Research Program of China(Grant No.2012CB934101);the Science Fund of the State Key Laboratory of Tribology at Tsinghua University SKLT12A01;Beijing Research Program(Grant No.100322002)
TiA1SiN nano-composite coatings with Silicon contents from 4.1 to 23.9 at.% were deposited on Silicon wafers. The nano- hardness, microstructure, and adhesion force of the coatings were deeply affected by Silicon cont...
关键词:IBAD TiAISiN Nano-hardness MICROSTRUCTURE mechanical properties 
Fabrication of IBAD-MgO and PLD-CeO2 Layers for YBCO Coated Conductors被引量:1
《Chinese Physics Letters》2015年第7期206-209,共4页牟晴晴 刘林飞 李贻杰 
Supported by the ITER Project of the Ministry of Science and Technology of China under Grant No 2011GB113004;the Shanghai Commission of Science and Technology under Grant Nos 09DZ1206000 and 11DZ1100402;the Youth Fund of Natural Science Foundation of China under Grant No 11204174
MgO thin films with different textures are fabricated by the ion beam assisted (IBAD) method on the Y2O3/Al2O3 buffered C276 tape. Then a CaO2 layer is directly grown on the IBAD-MgO film by the pulsed laser deposit...
关键词:Fabrication of IBAD-MgO and PLD-CeO2 Layers for YBCO Coated Conductors PLD MGO 
IBAD-YSZ薄膜辅助离子束对生长竞争机制的影响
《科技资讯》2015年第10期88-89,共2页赵子甲 
采用离子束沉积方法(IBAD)制备高温超导涂层导体的钇稳定氧化锆(YSZ)缓冲层中已发现了YSZ薄膜中生长过程中会出现(001)和(011)取向竞争,该文在IBAD-YSZ薄膜的研究中,选取较弱的辅助离子束流和能量,发现随着束流的变化薄膜从(011)的纤维...
关键词:离子束辅助沉积 YSZ 辅助离子束 择优取向 
Real Time,in situ Observation of the Photocatalytic Destruction of Saccharomyces cerevisiae Cells by Palladium-modified Nitrogen-doped Titanium Oxide Thin Film
《Journal of Materials Science & Technology》2015年第1期48-54,共7页Jingtao Zhang Qi Li Ronghui Li Jian Ku Shang 
supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant No. 51102246);the Knowledge Innovation Program of Institute of Metal Research, Chinese Academy of Sciences (Grant No. Y0N5A111A1);the Youth Innovation Promotion Association, Chinese Academy of Sciences (Grant No. Y2N5711171);the Scientific Research Foundation for the Returned Overseas Chinese Scholars, State Education Ministry, China
Palladium-modified nitrogen-doped titanium oxide(TiON/PdO) thin film was synthesized by the ion-beamassisted deposition technique,which enabled a heavy nitrogen doping and the subsequent light absorption extension to7...
关键词:Ion-beam assisted deposition(IBAD) TiON/PdO thin f 
Nb/Nb_5Si_3微叠层复合材料制备与其组织结构被引量:4
《航空材料学报》2014年第6期47-53,共7页黄光宏 申造宇 牟仁德 何利民 常振东 
采用大功率离子束辅助(IBAD)电子束物理气相沉积(EB-PVD)制备Nb/Nb5Si3叠层状复合材料。利用X-射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)对材料的组成相和微观结构进行分析,探讨EB-PVD制备工艺对微叠层材料的结构和形貌的影响。采用双靶材、蒸气垂...
关键词:EB-PVD IBAD Nb/Nb5Si3微叠层 微观结构 热处理 
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