云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- MEMS

MEMS: 作品数：5499被引量：11021H指数：29; 导出分析报告; 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>; 相关作者：黄庆安苑伟政张国军张文栋刘理天更多>>; 相关机构：东南大学中北大学上海交通大学中国科学院更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划中国博士后科学基金更多>>

超表面结构MEMS红外超窄带光源研究被引量：1: 《光子学报》2022年第1期310-318,共9页邹宇蒋文静欧文; 国家重点研究发展计划(No.2018YFC2000902)。; 针对常用的MEMS红外光源是类灰体光源,存在发射光谱范围比较广的问题,提出一种基于表面等离子体的超表面结构,将其覆盖在MEMS光源上实现一种有选择性、高发射率的窄带光源。还提出了一种改进的集总等效电路模型,通过模型能够比较准确地...; 关键词：红外物理 MEMS红外窄带光源集总等效电路模型超表面选择性高发射率

电离式三电极碳纳米管乙炔传感器被引量：1: 《微纳电子技术》2021年第9期796-803,共8页郝西伟申晨景龑潘晓彤薛倩楠程珍珍张勇; 国家自然科学基金资助项目(51577142);国家重点研究发展计划(2017YFB0404102,2017YFB1200902-09);国家重点实验室基金资助项目(61422061807);陕西省技术创新引导专项(基金)项目(2020CGXNG-007);国家电网公司总部科技项目(520900180008)。; 乙炔(C_(2)H_(2))气体是变压器油中溶解的主要故障特征气体之一,乙炔气体检测是实现变压器故障在线监测的关键。现有的乙炔传感器存在灵敏度低、结构复杂等问题。采用微电子机械系统(MEMS)加工工艺设计制作了一种电离式三电极碳纳米管(C...; 关键词：乙炔(C_(2)H_(2))传感器碳纳米管(CNT) 微电子机械系统(MEMS) 非自持放电变压器故障检测

Controlled Movements in Superlubric MEMS: 《Journal of Harbin Institute of Technology(New Series)》2020年第3期45-57,共13页Cangyu Qu Xiaojian Xiang Ming Ma Quanshui Zheng; National Natural Science Foundation of China(Grant Nos.11572173,11890671,51961145304 and 11921002);the National Key Basic Research Program of China(Grant No.2013CB934200);the Cyrus Tang Foundation(Grant No.202003);the Beijing Municipal Science&Technology Commission(Grant No.Z151100003315008);the Tsinghua University Initiative Scientific Research(Grant Nos.2014Z01007 and 2012Z01015);the State Key Laboratory of Tribology Tsinghua University Initiative Scientific Research(Grant No.SKLT2019D02).; Structural superlubricity(SSL)refers to a state where the friction and wear between two directly contacted solid surfaces are virtually zero.The realization of microscale SSL in 2012 rapidly explored SSL technologies ...; 关键词：structural superlubricity MEMS RESONATOR controlled movement

Parylene-MEMS technique-based flexible electronics被引量：2: 《Science China(Information Sciences)》2018年第6期106-114,共9页Xiao DONG Meixuan ZHANG Yinhua LEI Zhihong LI Yufeng JIN Wei WANG; supported by National Natural Science Foundation of China(Grant No.U1613215);Beijing Natural Science Foundation(Grant No.L172005);National Basic Research Program of China(973)(Grant No.2015CB352100); This paper reports a novel fabrication strategy for flexible electronics based on the paryleneMEMS(micro-electromechanical system) technique. A set of parylene-filled trenches is used to mechanically connect silicon-b...; 关键词：flexible electronics PARYLENE MEMS trench filling temperature controlling array

微纳惯性器件运动界面纳米效应基础问题研究: 《中国科技成果》2016年第17期25-25,27,共2页; 国家973计划项目（2012CB934100）.; 惯性器件是导航与控制系统的核心器件之一。MEMS惯性器件由于其微型化、低功耗、低成本、批量化制造等优点，已经在汽车电子和消费类电子等中低性能精度领域得到了广泛应用，但在武器制导、飞机导航等重要应用领域迫切需求更高性能的微...; 关键词：惯性器件纳米效应运动界面基础飞机导航消费类电子控制系统 MEMS

电极优化的PCR芯片及其扩增实验: 《仪表技术与传感器》2016年第8期75-76,80,共3页陈伟崔峰郭兆鑫陈文元吴校生刘武张卫平; 国家重点基础研究发展计划(973计划)项目(2011CB933102);上海市科委平台建设项目(11DZ2290303); 对传统的蛇形加热电极结构进行了优化,提升PCR芯片反应的温度分布均匀性。设计了一种电极片可重复使用且和反应腔室片可分离的PCR芯片。利用红外热像测温仪对优化前后的电极片进行了温度场分布测量,结果表明优化后的加热电极在反应腔室...; 关键词：MEMS PCR芯片 PDMS 温度场扩增

提升容器横向偏移惯性测量法的误差分析与校正被引量：1: 《传感技术学报》2016年第5期701-705,共5页林波谭建平薛少华吴志鹏; 国家重点基础研究发展计划(973)项目(2014CB049400); 针对超深矿井提升装备需要增加提升容器横向偏移测量的问题,根据其小量程、高精度、抗干扰的测量要求,提出一种基于MEMS传感器的惯性测量方法。采用惯性测距原理进行横向偏移测量,分析了倾斜角、随机误差和速度残值三种主要误差源,提出...; 关键词：提升容器横向偏移惯性测量误差校正 MEMS

MEMS规模制造技术基础研究: 《中国科技成果》2016年第7期24-24,28,共2页; 国家重点基础研究发展计划（975）项目（2011CB309500）.; 本项目针对我国MEMS走向产业化遇到的规模制造能力薄弱的瓶颈问题，通过产学研用结合的方式，开展多物理场作用下的微机械结构应力、微机械结构特性与工艺精度的关系、多材料多物性的兼容以及工艺质量评价方法等MEMS规模制造技术基础问...; 关键词：制造技术 MEMS 基础研究质量评价方法工艺精度制造能力结构应力结构特性

电极可重复使用的PCR芯片及其温度场分析: 《半导体光电》2015年第5期725-727,732,共4页曹井通崔峰陈伟郭兆鑫陈文元; 国家"973"计划项目(2011CB933102);上海市科委平台建设项目(11DZ2290303); 基于MEMS加工技术,提出了一种加热、传感电极和反应腔室可分离的PCR芯片结构,加热、传感电极采用Pt薄膜材料并可重复使用,反应腔室采用PDMS材料,芯片的制造成本大为降低。利用COMSOL软件对设计的PCR芯片进行了温度场仿真分析,并用红外...; 关键词：MEMS PCR芯片 PDMS COMSOL 温度仿真

基于MEMS的数字压力传感器在竖向位移测量中的应用被引量：4: 《重庆交通大学学报（自然科学版）》2015年第4期20-27,175,共9页朱世峰周志祥吴海军; 国家重点基础研究发展计划(973计划)项目(2012CB723300); 为实现结构竖向位移的便捷、高精度、远程实时测量,开发了一种基于连通管技术和MEMS技术的结构竖向位移测量系统,阐述了封闭差压连通管式位移测量原理及测试模块的实现。重点从稳定性、可靠性角度分析了封闭差压连通管式位移传感器的应...; 关键词：桥梁工程 MEMS竖向位移传感器系统封闭式差压连通管竖向位移测量

MEMS