超低介电常数

作品数：26被引量：45H指数：4
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相关作者：苏和平唐莹李纯纯方亮段炼更多>>
相关机构：桂林理工大学上海华力微电子有限公司中芯国际集成电路制造(上海)有限公司三峡大学更多>>
相关期刊：《绝缘材料》《新材料产业》《半导体技术》《硅酸盐学报》更多>>
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低/超低介电常数聚酰亚胺的研究进展被引量：1
《塑料工业》2024年第5期31-36,71,共7页李欣膂 梁昊 陈婷 徐伊凡 陈嘉敏 刘学清 陈风 刘继延 
国家重点研发计划(2022YFB3603702);江汉大学一流学科建设重大专项项目(2023XKZ034);江汉大学重大创新支持计划项目(2023ZDCX01);湖北省创新团队项目(T201935)。
聚酰亚胺(PI)是综合性能最佳的有机高分子材料之一,被认为是最具潜力的柔性电子器件基材。下一代电子元器件正向低维度、大规模及精细化集成发展,对作为层间绝缘材料的PI提出了更高的要求,而普通芳香族PI介电常数偏高,无法直接应用于微...
关键词：低/超低介电常数 聚酰亚胺 本征结构 多孔结构 
面向6G应用的超低介电常数定向通孔Al_(2)O_(3)陶瓷
《硅酸盐学报》2023年第4期859-865,共7页陈雨谷 郭蔚嘉 马志宇 卢雨田 岳振星 
广东省重点领域研发计划项目(2020B010176001);国家自然科学基金(51872160);国家重点研发计划项目(2017YFB0406301)。
为了满足6G太赫兹频段低时延通信技术的要求,采用冷冻干燥法制备了具有超低介电常数的定向通孔结构多孔氧化铝陶瓷。研究不同部位样品的结构与性能关系,以及固相含量对微观形貌、力学性能、太赫兹光学和介电性能的影响。获得具有高气孔...
关键词：多孔氧化铝陶瓷 定向通孔 太赫兹 光学性能 介电性能 
超低介电常数聚芳酯薄膜的制备及其性能研究
《合成技术及应用》2023年第1期18-23,共6页李响 陈田恬 王燕萍 高强 夏于旻 黄铄涵 
国家重点研发计划项目(2021YFB3700105)、产业用纺织品教育部工程研究中心2020年度开放课题(K2020-01)。
为制备超低介电常数的聚芳酯薄膜,以双酚A(BPA)、对苯二甲酰氯(TPC)和间苯二甲酰氯(IPC)为单体用界面聚合法合成无定形聚芳酯(a-PAR);并采用相分离法制备多孔聚芳酯薄膜;采用扫描电子显微镜、差示扫描量热仪和万能材料试验机等探讨了凝...
关键词：聚芳酯 介电常数 相分离 孔隙率 
UV Assisted Thermal Curing： Overview and Fundamental Understanding through Spin-on and PECVD Processes
《材料科学与工程（中英文版）》2010年第7期69-73,共5页Azlz Zenasm Vincent Jousseaume Olivier Gourhant Laurent Favennec Patrick Maury 
关键词：紫外线辐射 热固化 CVD工艺 超低介电常数 固化反应动力学 综述 PE 自旋 
有机官能化系列笼型倍半硅氧烷纳米材料制备技术
《新材料产业》2009年第10期I0010-I0011,共2页
技术简介 该技术通过分子设计和环境友好的水解反应，利用顶角-戴帽法和官能团剪裁等手段制备带有多种可反应性基团的中空笼型纳米材料。材料具有质轻、透气、超低介电常数、耐热、易加工、可溶解性、生物相容性等特性，体现了不同于...
关键词：材料制备技术 纳米材料 倍半硅氧烷 有机官能化 笼型 生物相容性 超低介电常数 水解反应 
超低介电常数聚酰亚胺的制备方法
《工程塑料应用》2008年第7期84-84,共1页
本发明公开了一种超低介电常数聚酰亚胺的制备方法。该方法是将1-氨丙基三乙氧基硅烷偶联剂加入到多金属氧酸盐水溶液中，制备多金属氧酸盐／硅烷杂化材料；然后将其加入到聚酰胺酸溶液中搅拌20～24h时后，涂膜，真空度为-0．1MPa的真...
关键词：超低介电常数 聚酰亚胺薄膜 制备方法 多金属氧酸盐 硅烷偶联剂 盐水溶液 杂化材料 真空条件 
中国塑料专利
《塑料工业》2007年第7期74-74,共1页
关键词：共聚碳酸酯 专利 塑料 中国 超低介电常数 热塑性弹性体 聚酰亚胺膜 间规聚丙烯 
中国塑料专利
《塑料工业》2007年第6期72-72,共1页
关键词：正电阻温度系数 专利 塑料 中国 制备方法 高分子组合物 超低介电常数 高吸水树脂 
纳米多孔SiO_2薄膜疏水性的研究进展被引量：5
《材料导报》2005年第11期39-42,共4页高庆福 冯坚 成慧梅 周仲承 王娟 张长瑞 
"十五"武器装备预研(41312040307)资助项目
超低介电常数纳米多孔 SiO_2薄膜在未来超大规模集成电路(ULSI)中有着广阔的应用前景,但其疏水性能的好坏是决定其能否在 ULSI 中应用的重要因素之一。介绍了国内外有关纳米多孔 SiO_2薄膜疏水性的原理、工艺以及表征方法。
关键词：纳米多孔 SIO2薄膜 疏水处理 接触角 低介电常数 疏水性能 超大规模集成电路 超低介电常数 ULSI 表征方法 
超低介电常数聚酰亚胺的开发及应用被引量：2
《广西化纤通讯》2001年第2期22-27,共6页李庆春 覃勇 杨春波 凌秀琴 邹君 
广西青年基金资助项目(0007004)
介绍了超低介电常数聚酰亚胺(PI)的研究开发情况。指出通过合成PI与热不稳定聚合物进行嵌段、接枝共聚制备的PI纳米泡沫材料是一种可用于微电子工业的极富应用前景的低介电常数材料,并对其在微电子工业中的应用作了简要叙述。
关键词：超低介电常数 聚酰亚胺 纳米泡沫 合成 
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