王娟

作品数：30被引量：141H指数：6
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供职机构：武汉军械士官学校更多>>
发文主题：溶胶-凝胶低介电常数聚碳硅烷碳化硅纤维纳米多孔二氧化硅薄膜更多>>
发文领域：一般工业技术化学工程理学电子电信更多>>
发文期刊：《化学进展》《光谱学与光谱分析》《中北大学学报（自然科学版）》《高技术通讯》更多>>
所获基金：国防科技技术预先研究基金武器装备预研基金国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
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SiO_2气凝胶薄膜的介电性能被引量：3
《新技术新工艺》2008年第6期91-93,共3页王娟 陈玲 徐建国 冯坚 
武器装备预研项目(41312040307)
采用MIS结构测量了SiO2气凝胶薄膜的介电性能,其介电常数可低于2.5。验正了薄膜的介电常数与孔洞率或折射率的计算公式;探讨了SiO2气凝胶薄膜的介电色散行为和介电极化机制,指出了薄膜的低介电常数是其纳米多孔结构和疏水性能共同作用...
关键词：SiO2气凝胶薄膜 低介电常数 介电性能 折射率 
影响火药维也里试验结果判定的关键问题研究被引量：4
《中北大学学报（自然科学版）》2008年第2期160-164,共5页陈玲 徐建国 程宏凯 王娟 
维也里试验是测定火药安定性的一种比较有效的方法.以部分单基和双基药的维也里试验为例,分析说明了危险品判定方法,维也里试验安定度与常温安定性的关系及存在的影响,以及观测试纸颜色安定性试验方法适用的范围.所得实验结果可保证火...
关键词：维也里试验 火药 安定性 储存 
纳米多孔SiO_2薄膜的制备与红外光谱研究被引量：16
《光谱学与光谱分析》2005年第7期1045-1048,共4页王娟 张长瑞 冯坚 杨大祥 
武器装备预研项目(41312040307)基金资助
以正硅酸乙酯为原料, 采用溶胶-凝胶法, 结合旋转涂胶、超临界干燥工艺在硅片上制备了纳米多孔SiO2薄膜. XRD表明薄膜为无定形态; SEM显示薄膜具有多孔网络结构, 其SiO2粒子直径为10～20 nm. 利用FTIR研究了薄膜的结构, 纳米多孔SiO2薄...
关键词：纳米多孔 SIO2薄膜 三甲基氯硅烷 溶胶-凝胶 红外光谱 
低介电常数介质薄膜的研究进展被引量：6
《化学进展》2005年第6期1001-1011,共11页王娟 张长瑞 冯坚 
武器装备预研项目(41312040307)
用低介电常数介质薄膜作金属线间和层间介质可以降低超大规模集成电路(ULSI)的互连延迟、串扰和能耗。从介质极化的原理出发,揭示了开发低介电常数介质薄膜的可能途径;综述了低介电常数介质薄膜的制备方法、结构与性能表征、工艺兼容性...
关键词：低介电常数介质薄膜 多孔薄膜 SSQ基介质 纳米多孔SiO2薄膜 含氟氧化硅(SiOF)薄膜 含碳氧化硅(SiOCH)薄膜 有机聚合物介质 
纳米多孔二氧化硅薄膜的制备及其光学性质研究被引量：1
《高技术通讯》2005年第6期55-57,共3页王娟 张长瑞 冯坚 
武器装备预研基金
以正硅酸乙酯(TEOS)为先驱体,采用溶胶-凝胶法,结合旋转涂胶和超临界干燥等工艺,在硅片上制备了纳米多孔SiO2薄膜.XRD和AFM表明该SiO2薄膜为无定形态,具有多孔网络结构,表面均匀平整,其SiO2基本粒子和孔隙的直径为30～40nm.利用椭偏光...
关键词：纳米多孔二氧化硅薄膜 制备方法 光学性质 溶胶-凝胶 低介电常数 椭偏光谱 
实验条件对纳米多孔二氧化硅薄膜性能的影响被引量：4
《国防科技大学学报》2005年第3期16-19,29,共5页王娟 张长瑞 冯坚 
国家部委重点资助项目(41312040307)
以正硅酸乙酯(TEOS)为先驱体,采用酸/碱两步溶胶—凝胶法,结合旋转涂胶和超临界干燥等工艺在硅片上制备了SiO2薄膜。XRD和AFM表明该SiO2薄膜为无定形态,具有多孔网络结构,表面均匀、平整,其SiO2粒子和孔隙的直径为30～40nm。利用椭偏仪...
关键词：纳米多孔SiO2薄膜 溶胶-凝胶 低介电常数 
纳米多孔SiO_2薄膜疏水性的研究进展被引量：5
《材料导报》2005年第11期39-42,共4页高庆福 冯坚 成慧梅 周仲承 王娟 张长瑞 
"十五"武器装备预研(41312040307)资助项目
超低介电常数纳米多孔 SiO_2薄膜在未来超大规模集成电路(ULSI)中有着广阔的应用前景,但其疏水性能的好坏是决定其能否在 ULSI 中应用的重要因素之一。介绍了国内外有关纳米多孔 SiO_2薄膜疏水性的原理、工艺以及表征方法。
关键词：纳米多孔 SIO2薄膜 疏水处理 接触角 低介电常数 疏水性能 超大规模集成电路 超低介电常数 ULSI 表征方法 
有序介孔材料制备过程中模板剂脱除方法研究进展被引量：6
《材料导报》2005年第8期36-39,共4页周仲承 冯坚 成慧梅 张长瑞 高庆福 王娟 
"十五"武器装备预演资助项目(41312040305)
有序介孔材料孔径均一,孔道排列有序,有着巨大的应用前景。在其制备过程中,模板剂的脱除是十分重要的一个步骤。综述了模板剂的脱除方法,总结了已经出现的几种工艺,指出了脱除过程中的关键问题及改进的方向。
关键词：有序介孔材料 模板剂 煅烧 萃取 脱除方法 制备过程 
纳米多孔薄膜孔结构的非破坏性表征被引量：1
《功能材料》2005年第4期481-486,共6页王娟 张长瑞 冯坚 
国防预研资助项目(41312040307)
对纳米多孔低介电常数薄膜孔洞率、孔径、孔径分布和孔洞连通性等孔结构的表征有助于理解薄膜的结构和提高其性能。近年来开展了利用与特殊X射线反射联用的小角中子散射、小角X 射线散射、椭偏测孔仪、正电子湮没谱和表面声波谱等非破...
关键词：纳米多孔薄膜 低介电常数介质薄膜 小角中子散射 椭偏测孔仪 正电子(素)湮没寿命谱 
聚乙二醇对纳米多孔二氧化硅薄膜性能的影响被引量：18
《无机材料学报》2005年第2期435-441,共7页王娟 张长瑞 冯坚 
国防预研项目(41312040307)
以聚乙二醇(PEG)为添加剂,正硅酸乙酯(TEOS)为先驱体,采用溶胶-凝胶法、结合 旋转涂胶和超临界干燥等工艺在硅片上制备了纳米多孔SiO2薄膜.利用FTIR、TG-DTA、 AFM和椭偏仪研究了该SiO2薄膜的性能.与未加.PEG的SiO2薄膜相比,加入PEG得到...
关键词：纳米多孔二氧化硅薄膜 溶胶-凝胶 聚乙二醇 低介电常数 
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