纳米多孔二氧化硅薄膜

作品数：11被引量：76H指数：6
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相关期刊：《硅酸盐学报》《物理化学学报》《天津化工》《光学精密工程》更多>>
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自组装法制备的亚波长纳米多孔二氧化硅薄膜被引量：7
《光学精密工程》2015年第5期1233-1239,共7页叶鑫 倪锐芳 黄进 蒋晓东 郑万国 
国家自然科学基金资助项目(No.60908023);中国工程物理研究院科技发展基金资助项目(No.2010B0401055)
通过自组装技术在玻璃基底上制备了二氧化硅薄膜的亚波长多孔结构,这种类似于多晶的胶体晶体结构其特征尺寸约为90nm,通过不同的提拉速度可以实现可见到红外不同波段的增透。系统研究了胶体乳液浓度、基片提拉速度对亚波长多孔薄膜透射...
关键词：二氧化硅薄膜 增透膜 等效介质理论 亚波长多孔结构 损伤阈值 自组装法 
老化工艺对纳米多孔二氧化硅薄膜微观结构影响
《天津化工》2009年第2期40-41,共2页项本平 
本文主要探讨了老化时间与处理温度对纳米多孔二氧化硅薄膜结构的影响。结果表明随着老化时间的增加,薄膜的三维网状结构越明显、孔径分布更均匀、孔隙率越高、孔径越大。经450℃高温热处理后,颗粒长大,孔径增大,孔径分布不均匀,且薄膜...
关键词：纳米多孔二氧化硅薄膜 老化 微观结构 
低折射率纳米多孔二氧化硅薄膜的疏水性被引量：6
《硅酸盐学报》2008年第2期139-143,共5页姚兰芳 鲁凤芹 岳春晓 沈军 吴广明 
上海市教育委会科研创新基金(08Y297)资助项目。
采用溶胶-凝胶技术,通过HCl控制酸性的酸/酸二步法,以十六烷基三甲基溴化氨为模板剂,正硅酸乙酯为硅源,以及水、盐酸等为原料,制备二氧化硅前驱体溶胶。用甲基三乙氧基硅烷(methyltriethoxysilane,MTES)改性,制各疏水型SiO_2前驱体溶胶...
关键词：溶胶-凝胶 多孔二氧化硅 低折射率 疏水 甲基三乙氧基硅烷 
纳米多孔二氧化硅绝热薄膜的研究进展被引量：6
《功能材料》2006年第12期1859-1863,共5页赵宗彦 柳清菊 张瑾 朱忠其 
教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET-04-0915)
作为微电子机械系统(MEMS)技术中最有潜力的绝热材料,纳米多孔二氧化硅薄膜近年来引起了广泛的关注。研究表明其绝热性能与微观结构密切相关。综述了纳米多孔二氧化硅薄膜的制备方法、表征手段和绝热机理,并讨论了目前存在的一些问题和...
关键词：纳米多孔二氧化硅薄膜 绝热材料 绝热机理 
纳米多孔二氧化硅薄膜的制备及其光学性质研究被引量：1
《高技术通讯》2005年第6期55-57,共3页王娟 张长瑞 冯坚 
武器装备预研基金
以正硅酸乙酯(TEOS)为先驱体,采用溶胶-凝胶法,结合旋转涂胶和超临界干燥等工艺,在硅片上制备了纳米多孔SiO2薄膜.XRD和AFM表明该SiO2薄膜为无定形态,具有多孔网络结构,表面均匀平整,其SiO2基本粒子和孔隙的直径为30～40nm.利用椭偏光...
关键词：纳米多孔二氧化硅薄膜 制备方法 光学性质 溶胶-凝胶 低介电常数 椭偏光谱 
实验条件对纳米多孔二氧化硅薄膜性能的影响被引量：4
《国防科技大学学报》2005年第3期16-19,29,共5页王娟 张长瑞 冯坚 
国家部委重点资助项目(41312040307)
以正硅酸乙酯(TEOS)为先驱体,采用酸/碱两步溶胶—凝胶法,结合旋转涂胶和超临界干燥等工艺在硅片上制备了SiO2薄膜。XRD和AFM表明该SiO2薄膜为无定形态,具有多孔网络结构,表面均匀、平整,其SiO2粒子和孔隙的直径为30～40nm。利用椭偏仪...
关键词：纳米多孔SiO2薄膜 溶胶-凝胶 低介电常数 
聚乙二醇对纳米多孔二氧化硅薄膜性能的影响被引量：18
《无机材料学报》2005年第2期435-441,共7页王娟 张长瑞 冯坚 
国防预研项目(41312040307)
以聚乙二醇(PEG)为添加剂,正硅酸乙酯(TEOS)为先驱体,采用溶胶-凝胶法、结合 旋转涂胶和超临界干燥等工艺在硅片上制备了纳米多孔SiO2薄膜.利用FTIR、TG-DTA、 AFM和椭偏仪研究了该SiO2薄膜的性能.与未加.PEG的SiO2薄膜相比,加入PEG得到...
关键词：纳米多孔二氧化硅薄膜 溶胶-凝胶 聚乙二醇 低介电常数 
纳米多孔二氧化硅薄膜的制备与表征被引量：8
《功能材料》2005年第1期54-56,共3页王娟 冯坚 杨大祥 张长瑞 
国防预研项目资助项目(41312040307)
以正硅酸乙酯为原料,采用酸/碱两步溶胶-凝胶法、结合匀胶和超临界干燥等工艺在硅片上成功制备了纳米多孔二氧化硅薄膜.适合匀胶的二氧化硅溶胶的粘度范围为9～15mPa·s;多孔二氧化硅薄膜表面均匀平整,其厚度为400～1000nm;折射率为1.09...
关键词：纳米多孔二氧化硅薄膜 溶胶-凝胶 正硅酸 乙酯 低介电常数 
三甲基氯硅烷对纳米多孔二氧化硅薄膜的修饰被引量：18
《物理化学学报》2004年第12期1399-1403,共5页王娟 张长瑞 冯坚 
国防预研基金(41312040307)资助项目~~
以正硅酸乙酯为先驱体,采用溶胶-凝胶法,结合旋转涂胶、超临界干燥工艺在硅片上制备了纳米多孔SiO2薄膜.用三甲基氯硅烷(TMCS)对该SiO2薄膜进行了表面修饰,采用FTIR、TG-DTA、AFM和椭偏仪等方法研究了TMCS修饰前后薄膜的结构、形貌、厚...
关键词：纳米多孔SiO2薄膜 溶胶-凝胶 三甲基氯硅烷 低介电常数(low κ) 
低介电常数纳米多孔二氧化硅薄膜的制备
《稀有金属材料与工程》2004年第z1期141-144,共4页王娟 张长瑞 冯坚 
国防预研项目资助(41312040307)
以正硅酸乙酯为原料,采用溶胶-凝胶法、旋转涂胶和超临界干燥工艺在硅片上制备了纳米多孔SiO2薄膜.用近线性生长模型和分形生长模型研究了SiO2溶胶的粘度-时间曲线,确定了SiO2溶胶的结构演变过程.适合旋转涂胶的SiO2溶胶的粘度为9 mPa·...
关键词：纳米多孔二氧化硅薄膜 溶胶-凝胶 低介电常数 粘度 
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