超精密加工

作品数:880被引量:2628H指数:22
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单晶硅的激光抛光表面形貌演化被引量:1
《机械工程学报》2023年第21期52-64,共13页李涛 黄惟琦 龙归 杨思铄 张建国 肖峻峰 许剑锋 
国家自然科学基金(51705172,51905194,52225506,52188102);中央高校基本科研业务费专项资金(2020kfyXJJS085)资助项目。
激光抛光是一种非接触式等材超精密抛光方法,在单晶硅的激光抛光实验中观测到的“山”字形表面形貌演化规律无法用传统的表面张力和马兰戈尼效应主导的熔池流动理论解释,研究发现塑性变形在单晶硅表面形貌演化中扮演关键角色。通过对残...
关键词:激光抛光 塑性变形 形貌演变 超精密加工 
基于多波长散射光特性的铝合金超精密车削表面粗糙度测量方法研究
《机械工程学报》2023年第3期308-317,共10页何春雷 张建国 王姝淇 任成祖 
国家自然科学基金(52175430,51935008,52105478);博士后创新人才支持计划(BX20200234)资助项目
针对超精密车削表面,提出一种基于多波长散射光特性的表面粗糙度测量方法,以铝合金为例对该方法进行验证。首先建立超精密车削表面形貌—散射光模型并开展验证实验,定量实验结果证明建立的散射光模型平均误差仅为1%。基于散射光模型研...
关键词:超精密加工 散射特性 表面粗糙度 测量方法 
难加工材料场辅助超精密加工研究被引量:10
《中国科学:技术科学》2022年第6期829-853,共25页许剑锋 黄凯 郑正鼎 林创挺 张建国 肖峻峰 陈肖 
国家自然科学基金(批准号:51905195,51705172,51905194,51627807);中央高校基本科研业务费专项资金(编号:2020kfyXJJS085);华中科技大学学术前沿青年团队(编号:2019QYTD12)资助项目。
场辅助超精密加工(field-assisted ultra-precision machining,FAUM)是一种先进的制造技术.基于传统的超精密加工技术,通过引入激光、超声振动和磁场等能场进行创新,实现了难加工材料纳米级甚至亚纳米级高精度制造.本文具体阐述了场辅...
关键词:场辅助超精密加工 难加工材料 激光辅助 超声振动辅助 磁场辅助 
面向材料的超精密金刚石切削加工机理被引量:4
《中国科学:技术科学》2022年第6期854-870,共17页张俊杰 张建国 闫永达 孙涛 
国家自然科学基金(批准号:51405106,51761135106);国防基础科研核科学挑战专题(编号:TZ2018006-0201-02,TZ2018006-0205-02)资助项目。
采用超精密单点金刚石切削加工技术制备超光滑表面在国防尖端和航空航天等领域具有重要应用.当前缺乏对超精密加工机理的理解,极大地制约着超精密加工技术的提高.金刚石切削加工是一个刀具与材料高度耦合的过程,工件材料的性能对加工结...
关键词:超精密加工 金刚石切削 加工机理 超光滑表面 脆塑转变 
高频高精快刀伺服系统优化被引量:3
《光学精密工程》2022年第1期78-88,共11页张建国 李江 黄凯 郑正鼎 杨辉 许剑锋 
华中科技大学学术前沿青年团队资助项目(No.2019QYTD12)。
研制了一款高频响、高精度及大驱动力的压电驱动型快速刀具伺服(Fast Tool Servo,FTS)装置,采用广义圆锥线拟合的柔性铰链构造新颖的柔性机构,通过对称布置的结构消除柔性刀架工作过程中在非期望运动方向的耦合误差,并对机构的运动学特...
关键词:超精密加工 快速刀具伺服装置 柔性刀架 优化设计 有限元分析 
Zr基金属玻璃超精密加工切屑形成机理研究
《武汉理工大学学报(交通科学与工程版)》2021年第2期384-389,共6页佘中迪 尤建峡 陈肖 许剑锋 姚振华 
文中基于Nanoform X纳米超精密加工机床对Zr基金属玻璃进行划痕实验利用高分辨率测力仪及扫描电子显微镜对切削过程中的切削力和切屑形态进行了测量和表征.结果表明:随着切削速度和切削深度的增加,切屑的锯齿化程度增大,而变形程度减小...
关键词:金属玻璃 超精密切削 主剪切带 锯齿状切屑 
一种超光滑表面抛光装置的研制
《实验室科学》2007年第3期139-141,共3页叶梅 叶虎年 张思团 
国家自然科学基金资助项目(No.30170276;No.30627001;No.60672058)
针对“非探针超分辨光学显微镜”对光学元件表面提出的超光滑要求,发展了一种新颖的用于超光滑表面加工的经济装置。该装置为仅用一个单轴驱动工作盘,而随动聚四氟乙烯抛光盘的拟浴式抛光系统。加工件的原子力显微镜AFM测试结果表明该...
关键词:超光滑表面 超精密加工 拟浴式抛光 单轴驱动 浮置抛光盘 
宽范围原子力显微镜在超精加工中应用研究
《制造技术与机床》1997年第6期27-30,共4页张鸿海 张华书 师汉民 陈日曜 
国家自然科学基金!69474022;国家教委博土点基金!9348718
介绍了用于分析起精加工的原子力显微镜。其垂直方向和水平方向的分辨率可达纳米级,测量范围可达140×140μm。采用探头扫描方法和双扫描工作模式,扩大了该测量方法的应用范围。给出了金刚石刀具钝圆半径与精密玻璃光栅和超精密抛光...
关键词:超精密加工 金刚石刀具 原子力显微镜 
用于超精表面分析的宽范围扫描隧道显微镜
《制造技术与机床》1995年第1期20-23,共4页张鸿海 师汉民 李尚平 周学夫 李文菊 曹伟 陈日曜 
国家自然基金
本文描述了一种能检测超精密表面纳米级超微观形貌的扫描隧道显微镜。该装置可测到高定向石墨表面原子图象和精密光栅,金刚石切削表面和精密磨削表面的纳米级形貌。
关键词:超精密加工 纳米形貌 STM 特种加工 
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