超精密磨削

作品数：133被引量：635H指数：13
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相关作者：康仁科陈明君董申赵清亮郭东明更多>>
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基于激光对刀仪的高精度在位测量及补偿方法被引量：6
《仪器仪表学报》2021年第12期1-8,共8页陶宇轩 刘秀峰 曹海印 
国家自然科学基金(51875223);国防基础科研核科学挑战专题(TZ2018006)项目资助。
球型砂轮在位修整前后的直径变化将导致理想与实际的磨削轨迹之间出现位置偏差,造成加工误差,因此在超精密磨削加工前获取该变化信息是十分有必要的。针对于此,提出了一种球型砂轮在位测量方案,包括搭建基于激光对刀仪的在位测量系统以...
关键词：超精密磨削 激光对刀仪 齐次坐标转换 最小二乘法 误差补偿 
一种nm级超精密镜面磨削的微进给工作台被引量：3
《仪器仪表学报》1996年第S1期388-388,共1页张飞虎 张春河 王平 韩荣久 
一种ｎｍ级超精密镜面磨削的微进给工作台张飞虎，张春河，王平，韩荣久（哈尔滨工业大学）（中国科学院长春光学精密机械研究所）用超微细粒度的超硬磨料砂轮进行超精密镜面磨削加工，是对难以用金刚石车刀进行超精密车削的材料如工程...
关键词：微进给 镜面磨削 超精密加工 工作台 超精密磨削 超精密车削 微量进给机构 工程陶瓷 金刚石车刀 位置分辨率 
具有宽测量范围的扫描探针显微镜被引量：1
《仪器仪表学报》1995年第S1期138-142,共5页张鸿海 李文菊 周学夫 曹伟 
国家自然基金;国家教委博士点基金
本文介绍了具有宽测量范围（１４０×１４０μｍ２）的高灵敏度扫描探针显微镜，它能对Φ１３０ｍｍ的磁盘、光盘表面纳诺形貌和集成电路芯片光刻质量等进行多模式测量。本文给出了部分试验结果，如高定向石墨的原子图像与光栅和超精密...
关键词：宽测量范围 扫描探针显微镜 力传感器 超精密磨削 高定向石墨 扫描热显微镜 电子反馈回路 隧道电流 测量原理 隧道结 
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