超微电动机

作品数：9被引量：3H指数：1
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超微电动机的应用前景及其关键技术
《电子元器件应用》2002年第6期4-6,共3页张思明 
概述静电型、电磁型、压电型超微电动机的国内外研究现状及其技术性能,简要介绍三种关键制造技术。指出由超微电动机构成的微电子机械系统(MEMS)的广阔应用前景。
关键词：应用前景 超微电动机 微电子机械系统 微细加工技术 LIGA技术 
国内外新原理新结构微特电机综述被引量：1
《电子元器件应用》2001年第1期6-8,11,共4页张思明 
本文介绍了弹性波电动机、压电陶瓷微位移驱动器、超声波电动机、超微型电动机、片式无刷电动机、形状记忆合金执行器等几种微特电机的基本原理、结构、特点以及国内外研制开发和应用的概况。
关键词：弹性波电动机 压电陶瓷微位移驱动器 超声波电动机 超微电动机 微特电机 
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