压电陶瓷微位移驱动器

作品数：12被引量：114H指数：5
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相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
相关作者：李华丰朱振宇兰一兵陈大任李国荣更多>>
相关机构：中国科学院中航工业北京长城计量测试技术研究所上海交通大学华中科技大学更多>>
相关期刊：《功能材料与器件学报》《中国无线电电子学文摘》《计测技术》《光学精密工程》更多>>
相关基金：国家高技术研究发展计划上海市青年科技启明星计划上海市科学技术发展基金陕西省自然科学基金更多>>
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压电陶瓷微位移驱动器建模与控制被引量：53
《光学精密工程》2013年第6期1503-1509,共7页刘泊 郭建英 孙永全 
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2009AA042407)
考虑利用白光干涉仪进行表面三维形貌测量时压电陶瓷(PZT)的蠕变效应对微位移驱动器位移精度的影响,提出了一种沿参考镜光轴方向提高该驱动器位移精度的方法。系统研究了该驱动器的位移检测回路、PID闭环控制以及蠕变补偿控制;利用光电...
关键词：压电陶瓷 位移驱动器 PID闭环控制 电压蠕变补偿 
压电陶瓷微位移驱动器在FY—3卫星G型辐射制冷器上的应用被引量：4
《科学技术与工程》2008年第14期4029-4032,共4页涂锋华 王维扬 董德平 付立英 
压电陶瓷微位移驱动器是利用逆压电效应来实现电控位移并产生驱动力的一种新型微位移器件。FY—3气象卫星有效载荷中分辨率光谱成像仪(MERSI)采用大冷量G型辐射制冷器冷却碲镉汞(HgCdTe)红外探测器,即长波红外和短波红外线列探测器,分...
关键词：G型辐射制冷器 压电陶瓷微位移驱动器 低温红外光校 低温标定 
应变反馈式压电陶瓷微位移驱动器的研制被引量：1
《计测技术》2005年第4期19-20,25,共3页李华丰 赵新丽 朱振宇 严家骅 万宇 
介绍了采用应变片测量压电陶瓷微位移驱动器位移的原理和设计思想,介绍了实验装置的结构,给出了实验结果,证明将应变片直接粘贴在压电陶瓷基体表面测量其位移的方法是可行性的;通过对压电陶瓷滞回特性的测定,提出了建立压电陶瓷的控制...
关键词：压电陶瓷 应变片 滞回特性 
压电陶瓷驱动器动态特性的实验研究被引量：7
《压电与声光》2005年第2期203-205,212,共4页潘策 陈晓南 杨培林 
陕西省自然科学研究基金资助项目(2002E207)
动态响应的迟滞非线性是影响压电陶瓷驱动器高精度控制性能的一个重要因素,必须在控制中加以动态校正补偿。但由于驱动器的材料、结构和工作条件各异,所以关于动态非线性的定量描述难以建立一个统一的数学模型。针对这个问题,将PID参数...
关键词：压电陶瓷微位移驱动器 动态特性 PID 模糊自调整 微位移工作台 
压电陶瓷微位移驱动器在活塞仿形加工中的应用被引量：3
《上海交通大学学报》2004年第8期1331-1333,共3页秦月霞 胡德金 
"十五"国家技术创新项目(01-101-19-13)
分析了活塞仿形加工方法中存在的不足,提出了应用压电陶瓷微位移驱动器进行实时误差补偿,改善和提高活塞仿形加工性能的方案.针对压电陶瓷驱动器的非线性特性,给出了对其控制电压进行校正的方法.采用所提出的误差补偿方法能够有效提高...
关键词：压电陶瓷驱动器 活塞 仿形加工 
压电陶瓷微位移驱动器在IC封装设备中的应用研究被引量：4
《自动化技术与应用》2002年第5期56-58,共3页孙立宁 杨永 曲东升 
在IC封装设备中 ,由于直线导轨的扭摆 ,造成的封装工作台工作梁末端的定位误差 ,是使工作台定位精度降低的一个主要原因。由于IC封装的高速高精度特性 ,使一般的误差补偿系统无法在其上进行应用。本文讨论了一种基于压电陶瓷的新的误差...
关键词：压电陶瓷 微位移驱动器 封装设备 集成电路 
国内外新原理新结构微特电机综述被引量：1
《电子元器件应用》2001年第1期6-8,11,共4页张思明 
本文介绍了弹性波电动机、压电陶瓷微位移驱动器、超声波电动机、超微型电动机、片式无刷电动机、形状记忆合金执行器等几种微特电机的基本原理、结构、特点以及国内外研制开发和应用的概况。
关键词：弹性波电动机 压电陶瓷微位移驱动器 超声波电动机 超微电动机 微特电机 
晶体结构对压电陶瓷微位移驱动器特性的影响被引量：4
《功能材料与器件学报》1997年第4期236-242,共7页陈大任 李国荣 朱梅根 张望重 张申 殷庆瑞 
对钙钛矿结构的ＰＺＴ－５和钨青铜结构的ＰＢＮＮ二种压电陶瓷制成的压电微位移器进行了电压－位移特性的比较和分析，发现我们所研制的ＰＢＮＮ压电微位移器具有线性好、回零好、能对称工作等优点。从ＰＺＴ－５和ＰＢＮＮ陶瓷的晶体...
关键词：压电陶瓷 驱动器 位移 晶体结构 
逆压电效应的压电常数和压电陶瓷微位移驱动器被引量：16
《无机材料学报》1997年第6期861-866,共6页陈大任 李国荣 殷庆瑞 
上海市科学技术发展基金!95JC14016;国家863计划!715-006-0060;上海市青年科技启明星计划资助!96QE14030
本文介绍了由过压电效应的应变-电场曲线测得弱场和强场下的压电常数d_33、d_31．测量发现S～E曲线上呈现应变和压电系数突增的阈值场强E_b，用铁电陶瓷固有的90°畴转向对应变的贡献进行了分析和讨论．该方法与以往常用的正压电效应的...
关键词：压电常数 逆压电效应 压电陶瓷 微位移器 
电子元件、组件
《中国无线电电子学文摘》1994年第3期55-61,共7页
关键词：电子元件 压电陶瓷微位移驱动器 压敏电阻材料 微观结构 压电陶瓷材料 性能特点 中国科学院 导纳光谱 应用概况 器件性能 
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