微位移工作台

作品数：24被引量：109H指数：7
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二维无耦合微位移工作台的刚度计算与分析
《合肥工业大学学报（自然科学版）》2018年第4期445-450,共6页沈健 吴从焰 朱仁胜 
合肥工业大学2012年国家级大学生创新创业(训练;实践)计划资助项目(201210359001)
文章针对一种无耦合的二维微位移工作台,推导了该工作台的刚度理论公式。首先给出了工作台的结构,推导了柔性铰链杆端点处的转角和位移;在此基础上推导了二维微位移工作台在x、y2个方向的刚度理论公式;最后采用有限元仿真计算值对刚度...
关键词：无耦合 二维微位移工作台 柔性铰链杆 刚度理论公式 有限元 
微位移工作台柔性铰链参数分析和优化被引量：2
《机电工程技术》2015年第1期72-75,共4页李啟定 李克天 
广东省科技计划项目资助(编号:2012B0910000028;2012B011300027)
针对微位移工作台柔性铰链影响参数的分析和优化。应用伪刚体理论,以能量法把模型简化为质量--弹簧系统,进行直圆铰链的固有频率公式推导。通过ANSYS有限元算例模拟仿真,研究各个参数对系统固有频率和刚度的影响,分析总结规律。并由设...
关键词：柔性铰链 固有频率 有限元分析 优化设计 
二维解耦微位移工作台的设计与有限元分析被引量：3
《机械设计与制造》2014年第10期67-68,72,共3页吴从焰 潘效龙 张晓峰 刘传桂 
合肥工业大学2012年国家级大学生创新创业(训练;实践)计划项目(201210359001)
微位移工作台在微机电系统、超精密加工和生物医学工程等领域有广泛的应用。设计了一种驱动器浮动的二维解耦微位移工作台。工作台采用双层柔性铰链杆对称一体化结构,消除了X、Y方向的耦合运动。推导了微位移工作台的理论刚度。为了验...
关键词：微位移工作台 驱动器浮动 柔性铰链 
二维解耦微位移工作台的设计和有限元分析
《机械工程师》2013年第4期30-32,共3页沈健 任兴亮 张海岩 
文中设计了一驱动器固定的二维解耦微位移工作台。根据所选微位移驱动器和微位移工作台空载达到最大位移时所需的驱动力,得到微位移工作台的理论设计刚度值,据此对微位移工作台进行设计,然后对其进行有限元计算,求得微位移工作台刚度的...
关键词：微位移工作台 柔性铰链 二维 解耦 刚度 
单向平动微位移工作台的静刚度分析被引量：2
《合肥工业大学学报（自然科学版）》2011年第4期485-488,518,共5页朱仁胜 沈健 刘永梅 
国家科技部创新基金资助项目(07C26213401449)
文章根据梁单元有限元法,把柔性铰链视为变截面梁单元,建立了柔性铰链的单元刚度矩阵;在此基础上,建立了单向平动微位移工作台的有限元计算模型,得到了微位移工作台的位移输出特性;同时,选取不同的柔性铰链参数,用有限元分析软件对微位...
关键词：柔性铰链 刚度矩阵 微位移工作台 有限元法 
精密微位移工作台的设计与性能分析被引量：12
《机械设计与研究》2008年第4期41-43,53,共4页李蓓智 杨永金 杨建国 张家梁 徐源 
上海市重点学科建设资助项目(B602);上海市科技攻关资助项目(041111007)
在微位移技术中,柔性铰链是实现微位移和高分辨率的理想机构。结合精密磨床工作台高精度、高分辨率和大刚度的特点,以及满足工作台的工作行程和进给稳定性要求,设计了宏微两级精密进给机构;建立了柔性铰链导向机构的理论模型并进行刚度...
关键词：微位移 柔性铰链 压电陶瓷 有限元分析(FEA) 
压电陶瓷微位移工作台的建模方法被引量：10
《光学精密工程》2007年第10期1596-1601,共6页魏强 张玉林 
国家自然科学基金资助项目(No.90307003)
压电陶瓷存在着迟滞非线性特性,而且在运行过程中,特性的变化规律也是未知的、不确定的,难以用传统方法获取既有足够精确性又不至于过分复杂的压电陶瓷微位移工作台的数学模型。基于神经网络,本文提出了一种新的建模方法。分析了微位移...
关键词：精密工作台 压电陶瓷 纳米定位 神经网络 系统辨识 
STM微位移工作台的遗传神经网络控制技术被引量：2
《微细加工技术》2006年第4期10-14,共5页魏强 张玉林 郝慧娟 卢文娟 宋会英 于欣蕾 
国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90307003);国家自然科学基金资助项目(10572078);山东省自然科学基金资助项目(Y2003G03)
为了提高扫描隧道显微镜微位移工作台的定位精度,提出了一种基于遗传算法的神经网络PID控制方案。微位移工作台以压电陶瓷为驱动器、柔性铰链为导向机构,在分析工作原理的基础上,建立了工作台的数学模型。神经网络PID控制器对工作台进...
关键词：电子束 扫描隧道显微镜 压电陶瓷 工作台 神经网络 遗传算法 PID 
一种用于光纤F-P传感器的微纳米级微位移工作台的研究被引量：2
《仪器仪表学报》2006年第6期653-656,共4页雷小华 刘国平 陈星 朱永 陈伟民 
标定光纤F-P传感器这种微纳米级位移传感器非常困难。分析常用的微位移技术优缺点,这里提出了一种基于弹性变形原理的工作台的设计方法。建立了工作台位移变形的数学模型,对其产生位移的误差进行了理论分析。在此基础上,实际设计并开发...
关键词：标定 工作台 微位移 光纤F-P传感器 
扫描隧道显微镜微位移工作台的神经网络PID控制方法研究被引量：10
《光学精密工程》2006年第3期422-427,共6页魏强 张玉林 于欣蕾 郝慧娟 卢文娟 
国家自然科学基金重大研究计划资助项目(No.90307003);国家自然科学基金资助项目(No.10572078);山东省自然科学基金资助项目(No.Y2003G03)
提出了一种基于神经网络理论的微位移工作台控制方案。该工作台以压电陶瓷作为微位移驱动元件,对伺服电机大位移进行位移补偿。分析了压电陶瓷微位移驱动器的原理,建立了工作台的数学模型。神经网络PID控制器对工作台进行闭环控制,利用B...
关键词：扫描隧道显微镜 精密工作台 神经网络 PID控制 自适应控制 
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