微位移驱动器

作品数：51被引量：275H指数：8
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曲臂菱形放大机构的压电位移驱动器
《自动化与仪器仪表》2022年第5期179-184,共6页韩凌坤 李少琦 张世玉 郑叶龙 黄银国 
航空科学基金资助项目(20175748009)。
在菱形位移放大机构基础上,设计了一种基于曲臂菱形位移放大机构的压电微位移驱动器,该驱动器在保证位移放大比的条件下,获得了较高的固有频率,并且为微位移闭环控制提供了一种反馈方法。首先,根据正交三角放大原理计算了曲臂菱形位移...
关键词：曲臂菱形 微位移驱动器 单臂应变 有限元仿真 
气动式微位移驱动器的结构设计及其性能分析被引量：2
《液压与气动》2016年第12期10-15,共6页张礼华 王康 王树林 
国家自然科学基金(51275217)
为便于精密机床的微进给控制,研究了一种新型的气压式微位移驱动器。根据微驱动器的工作原理,在简化模型的基础上,对驱动器进行了结构设计,用有限元方法分析了微驱动器与微驱动台的主要性能,并且采用实验验证了该设计的合理性。研究结...
关键词：气压驱动 微位移驱动器 线性度 二自由度 
基于压电纤维的微位移驱动器的研究被引量：3
《现代制造工程》2016年第10期12-15,共4页程学亮 王树林 俞琳 张礼华 
国家自然科学基金项目(51275217);国家科技重大专项项目(2013ZX04009031)
基于压电纤维复合材料特性研究,设计了一种新型的压电式微位移驱动器,它能够实现60μm的行程和亚微米量级的定位精度。对驱动器的电压-位移特性、分辨率以及迟滞和蠕变特性进行了实验研究,研究表明,相比于传统的压电陶瓷式微位移驱动器...
关键词：压电纤维复合材料 微位移驱动器 迟滞 蠕变 
超磁致伸缩材料微位移驱动器的实验研究被引量：2
《机械工程与自动化》2014年第3期84-86,共3页公涛 李国康 
针对超磁致伸缩材料微位移驱动器在精密定位控制中存在的迟滞和位移非线性等不足,对超磁致伸缩材料微位移驱动器进行实验研究,介绍了微位移驱动器中预紧机构和放大机构的设计理论、设计过程和研究方法。研究结果表明:微位移驱动器的控...
关键词：超磁致伸缩 微位移驱动器 实验研究 
用于光栅拼接的微位移驱动器的精度分析被引量：2
《电子测量技术》2014年第8期117-122,共6页章亚男 葛磐 王成刚 钱晋武 沈林勇 
为了满足大尺寸衍射光栅拼接调整架精密调整的需求,设计了一种机械式微位移驱动器,它能够实现十几mm的大行程和纳米量级的定位精度。根据驱动器各零部件的性能参数和技术指标,分析计算了影响驱动器运动分辨率的因素及其大小。通过对机...
关键词：光栅拼接 纳米定位 驱动器 误差分析 实验测试 
压电陶瓷微位移驱动器建模与控制被引量：53
《光学精密工程》2013年第6期1503-1509,共7页刘泊 郭建英 孙永全 
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2009AA042407)
考虑利用白光干涉仪进行表面三维形貌测量时压电陶瓷(PZT)的蠕变效应对微位移驱动器位移精度的影响,提出了一种沿参考镜光轴方向提高该驱动器位移精度的方法。系统研究了该驱动器的位移检测回路、PID闭环控制以及蠕变补偿控制;利用光电...
关键词：压电陶瓷 位移驱动器 PID闭环控制 电压蠕变补偿 
超磁致伸缩微位移驱动器设计及磁场有限元分析被引量：1
《机械制造与自动化》2010年第4期179-181,185,共4页马志新 周志平 
在介绍自行研制的超磁致伸缩微位移驱动器(GMA)的结构和工作原理的基础上,重点研究了GMA的驱动磁场特性,通过有限元方法分析建立了GMA二维非线性磁场模型,并借助ANSYS软件成功获得GMA的磁场分布,且有效预估了GMA的工作性能参数。
关键词：超磁致伸缩材料 微位移驱动器 磁场 有限元分析 
能动镜中力驱动器的实现及性能测试被引量：1
《光学学报》2010年第1期1-6,共6页凡木文 邓建明 周睿 李梅 
国家863计划资助课题
用于能动镜中的力驱动器采用直流电机作为驱动源,经减速器后利用滚珠丝杆传动加弹簧组件实现纳米级微位移,而采用丝杆副实现自锁。驱动器基于拉压力传感器实现闭环控制,高增益的PID控制器克服了机械摩擦的微动特性获得比较好的线性度。...
关键词：自适应光学 能动镜 力驱动器 微位移驱动器 滚珠丝杆 PID控制 
磁致伸缩微位移驱动器性能测试分析
《天文研究与技术》2009年第4期342-346,共5页张梦良 戚永军 杨斌堂 
国家自然科学基金(10778620)资助
介绍了磁致伸缩微位移驱动器的工作原理,分析了检测方法,设计了使用双频激光干涉仪作为测量基准的测试平台;对该驱动器的位移的输出特性进行了测试,通过拟合处理对测试结果进行数据分析,可提高超磁致伸缩微位移驱动器的线性度和控制精度...
关键词：磁致伸缩效应 微位移 驱动器 多项式拟合 
亚微米级液压式微驱动器工作机理及其特性
《纳米技术与精密工程》2009年第5期408-412,共5页王树林 张兵 沈春根 陈兴华 刘刚 
国家科技支撑计划资助项目(2008BAF32B06);国家自然科学基金资助项目(50675088)
为了提高精密机床的加工精度,研究了一种新型的液压式微位移驱动器.用有限元方法分析了缸体内部径向压力对液压式微驱动器输出微位移的影响,得到了驱动器结构设计公式,并讨论了其适用范围.建立了液压式微位移驱动器性能测试系统,对其主...
关键词：液压 微位移驱动器 线性 刚度 滞后性 
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