相移掩模

作品数：50被引量：53H指数：4
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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：冯伯儒张锦侯德胜周崇喜孙方更多>>
相关机构：HOYA株式会社中国科学院现代电子产业株式会社信越化学工业株式会社更多>>
相关期刊：《激光与光电子学进展》《光机电信息》《LSI制造与测试》《光学学报》更多>>
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国家自然科学基金
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作品数：3164202被引量：8320308H指数：431
相关主题：数值模拟 英文 影响因素 稳定性 神经网络
相关领域：医药卫生 理学 自动化与计算机技术 经济管理 农业科学
国家重点实验室开放基金
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作品数：42703被引量：259132H指数：102
相关主题：数值模拟 性能研究 力学性能 复合材料 遗传算法
相关领域：理学 自动化与计算机技术 天文地球 电子电信 农业科学
国家高技术研究发展计划
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作品数：254143被引量：1394178H指数：194
相关主题：数值模拟 水稻 仿真 遗传算法 机器人
相关领域：自动化与计算机技术 农业科学 电子电信 医药卫生 理学
中国科学院重点实验室基金
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作品数：1657被引量：21546H指数：60
相关主题：麦双尾蚜 手性拆分 数值模拟 手性固定相 辽东栎
相关领域：天文地球 农业科学 理学 生物学 自动化与计算机技术
国家重点基础研究发展计划
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作品数：273390被引量：1705681H指数：254
相关主题：数值模拟 英文 力学性能 气候变化 影响因素
相关领域：天文地球 医药卫生 理学 农业科学 自动化与计算机技术
国家自然科学基金(60276043)
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作品数：9被引量：15H指数：3
相关主题：光刻技术 干涉光刻 无掩模 激光干涉光刻 离轴照明
相关领域：电子电信 机械工程 理学
教育部“新世纪优秀人才支持计划”
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作品数：49772被引量：452640H指数：170
相关主题：数值模拟 实证研究 影响因素 遗传算法 性能研究
相关领域：经济管理 自动化与计算机技术 理学 医药卫生 电子电信
国家自然科学基金(10674134)
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作品数：9被引量：28H指数：4
相关主题：光学光刻 相位展开 干涉图 光学测量 泊松方程
相关领域：电子电信 自动化与计算机技术 机械工程 一般工业技术
国家高技术研究发展计划(2002AA1Z1460)
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作品数：35被引量：33H指数：3
相关主题：PLACEMENT VLSI INTERCONNECT 布图 ALGORITHM
相关领域：电子电信 自动化与计算机技术
教育部“新世纪优秀人才支持计划”(NECT-04-0981)
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作品数：2被引量：1H指数：1
相关主题：离轴照明 大数值孔径 光学光刻 相移掩模
相关领域：电子电信 自动化与计算机技术
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共2页<12>
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