气相淀积

作品数：297被引量：495H指数：8
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《半导体技术》
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作品数：8096被引量：10828H指数：22
issn：1003-353Xcn：13-1109/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题：集成电路 半导体 硅 可靠性 半导体器件
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 经济管理 电气工程 理学
《固体电子学研究与进展》
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作品数：3723被引量：4431H指数：13
issn：1000-3819cn：32-1110/TN
主办单位：南京电子器件研究所
发文主题：GAAS 砷化镓 硅 GAN 氮化镓
发文领域：电子电信 理学 自动化与计算机技术 电气工程 文化科学
《光电子．激光》
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作品数：9250被引量：25331H指数：31
曾用名：应用激光联刊
issn：1005-0086cn：12-1182/O4
主办单位：天津理工大学
发文主题：FBG 光电子学 激光 光纤光栅 光纤
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 理学 机械工程 医药卫生
《Journal of Semiconductors》
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作品数：9341被引量：11403H指数：23
issn：1674-4926cn：11-5781/TN
主办单位：中国电子学会;中国科学院半导体研究所
发文主题：CMOS 硅 GAAS 砷化镓 GAN
发文领域：电子电信 理学 自动化与计算机技术 电气工程 一般工业技术
《无机材料学报》
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作品数：6789被引量：33368H指数：51
issn：1000-324Xcn：31-1363/TQ
主办单位：中国科学院上海硅酸盐研究所
发文主题：陶瓷 性能研究 TIO AL 复合材料
发文领域：化学工程 一般工业技术 理学 电气工程 电子电信
《微纳电子技术》
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作品数：4652被引量：7349H指数：21
曾用名：半导体情报
issn：1671-4776cn：13-1314/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题：MEMS 微电子机械系统 微机电系统 纳电子技术 CMP
发文领域：电子电信 机械工程 一般工业技术 自动化与计算机技术 理学
《物理学报》
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作品数：30104被引量：93908H指数：65
issn：1000-3290cn：11-1958/O4
主办单位：中国物理学会;中国科学院物理研究所
发文主题：电子结构 第一性原理 第一性原理研究 等离子体 X
发文领域：理学 电子电信 机械工程 一般工业技术 电气工程
《高技术通讯》
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作品数：6810被引量：18595H指数：31
issn：1002-0470cn：11-2770/N
主办单位：中国科学技术信息研究所
发文主题：863计划 作者投稿指南 机器人 神经网络 投稿指南
发文领域：自动化与计算机技术 电子电信 生物学 农业科学 机械工程
《中国激光》
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作品数：14817被引量：55560H指数：49
issn：0258-7025cn：31-1339/TN
主办单位：中国光学学会;中国科学院上海光学精密机械研究所
发文主题：激光技术 激光器 激光 光纤光学 激光光学
发文领域：电子电信 理学 机械工程 金属学及工艺 自动化与计算机技术
《电子工业专用设备》
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作品数：6615被引量：4738H指数：18
issn：1004-4507cn：62-1077/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第四十五研究所
发文主题：半导体 半导体设备 集成电路 半导体产业 晶圆
发文领域：电子电信 经济管理 自动化与计算机技术 电气工程 机械工程
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