亚半微米

作品数：11被引量：14H指数：2
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相关领域：电子电信更多>>
相关作者：陈旭南姚汉民罗先刚张津江泽流更多>>
相关机构：中国科学院河北半导体研究所电子工业部机电部更多>>
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《电子工业专用设备》
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作品数：6615被引量：4721H指数：18
issn：1004-4507cn：62-1077/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第四十五研究所
发文主题：半导体 半导体设备 集成电路 半导体产业 晶圆
发文领域：电子电信 经济管理 自动化与计算机技术 电气工程 机械工程
《微细加工技术》
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作品数：1244被引量：2061H指数：14
issn：1003-8213cn：43-1140/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第48研究所
发文主题：离子注入 电子束曝光机 MEMS 光刻 金刚石
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 理学 一般工业技术 机械工程
《物理》
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作品数：7746被引量：14733H指数：37
issn：0379-4148cn：11-1957/O4
主办单位：中国物理学会;中国科学院物理研究所
发文主题：物理学 物理学家 量子力学 凝聚态物理 咬文嚼字
发文领域：理学 电子电信 文化科学 一般工业技术 天文地球
《半导体技术》
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作品数：8069被引量：10790H指数：22
issn：1003-353Xcn：13-1109/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题：集成电路 半导体 硅 可靠性 半导体器件
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 经济管理 电气工程 理学
《微纳电子技术》
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作品数：4620被引量：7316H指数：21
曾用名：半导体情报
issn：1671-4776cn：13-1314/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题：MEMS 微电子机械系统 微机电系统 纳电子技术 CMP
发文领域：电子电信 机械工程 一般工业技术 自动化与计算机技术 理学
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