亚半微米

作品数：11被引量：14H指数：2
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陈旭南
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作品数：60被引量：120H指数：5
发文主题：光刻分辨力 原子束 微细图形 光刻 投影光刻物镜
发文领域：电子电信 理学 机械工程 一般工业技术 金属学及工艺
姚汉民
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作品数：76被引量：170H指数：6
发文主题：光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
发文领域：电子电信 机械工程 理学 自动化与计算机技术 生物学
罗先刚
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作品数：93被引量：317H指数：8
发文主题：光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 金属
发文领域：电子电信 理学 机械工程 自动化与计算机技术 一般工业技术
余国彬
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作品数：21被引量：48H指数：4
发文主题：光刻分辨力 相机 投影光刻物镜 深空探测 投影光刻
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 机械工程 航空宇航科学技术 一般工业技术
罗四维
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作品数：3
发文主题：干法刻蚀 GAAS器件 掩模版 电子束 铬
发文领域：电子电信
江泽流
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作品数：6
发文主题：干法刻蚀 GAAS器件 掩模版 电子束 铬
发文领域：电子电信
刘玉贵
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作品数：7被引量：8H指数：1
发文主题：干法刻蚀 GAAS器件 掩模版 电子束 库仑阻塞
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术
王维军
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作品数：3
发文主题：干法刻蚀 GAAS器件 掩模版 电子束 铬
发文领域：电子电信
张津
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作品数：6被引量：11H指数：2
发文主题：投影光刻机 IC 光刻 调平 亚半微米
发文领域：电子电信 兵器科学与技术 理学 机械工程
王青
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作品数：6被引量：12H指数：2
发文主题：光探测器 单片集成 垂直腔面发射激光器 PHEMT 长波长
发文领域：电子电信 理学 一般工业技术 医药卫生 环境科学与工程
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