CVD生长

作品数:43被引量:94H指数:6
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相关领域:电子电信理学更多>>
相关作者:卢焕明叶志镇黄靖云刘忠范成会明更多>>
相关机构:中国科学院浙江大学北京大学中国科学技术大学更多>>
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《半导体技术》
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作品数:8069被引量:10790H指数:22
issn:1003-353Xcn:13-1109/TN
主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题:集成电路 半导体 硅 可靠性 半导体器件
发文领域:电子电信 自动化与计算机技术 经济管理 电气工程 理学
《物理化学学报》
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作品数:9721被引量:40377H指数:46
issn:1000-6818cn:11-1892/O6
主办单位:中国化学会;北京大学
发文主题:英文 密度泛函理论 CO 催化剂 分子动力学模拟
发文领域:理学 化学工程 一般工业技术 电气工程 金属学及工艺
《电子材料快报》
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作品数:576被引量:3H指数:1
主办单位:天津电子材料研究所
发文主题:半导体 硅 化合物半导体 GAAS 半导体材料
发文领域:电子电信 理学 一般工业技术 电气工程 金属学及工艺
《微纳电子技术》
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作品数:4620被引量:7316H指数:21
曾用名:半导体情报
issn:1671-4776cn:13-1314/TN
主办单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题:MEMS 微电子机械系统 微机电系统 纳电子技术 CMP
发文领域:电子电信 机械工程 一般工业技术 自动化与计算机技术 理学
《等离子体应用技术快报》
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作品数:864被引量:24H指数:2
主办单位:核工业西南物理研究院
发文主题:等离子体 等离子体源 离子植入 表面改性 离子束
发文领域:理学 电子电信 金属学及工艺 一般工业技术 核科学技术
《半导体杂志》
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作品数:477被引量:454H指数:8
issn:1005-3077cn:12-1134/TN
主办单位:电子部天津电子材料研究所;天津市电子学会
发文主题:半导体 半导体器件 硅 集成电路 半导体材料
发文领域:电子电信 理学 自动化与计算机技术 电气工程 机械工程
《微电子技术》
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作品数:920被引量:850H指数:10
曾用名:江南半导体通讯
issn:1008-0147cn:32-1479/TN
主办单位:中国华晶电子集团公司
发文主题:集成电路 IC VLSI CMOS 大屏幕彩电
发文领域:电子电信 自动化与计算机技术 经济管理 电气工程 机械工程
《光学学报》
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作品数:17859被引量:67256H指数:54
issn:0253-2239cn:31-1252/O4
主办单位:中国光学学会;中国科学院上海光学精密机械研究所
发文主题:光纤光学 光学设计 成像系统 图像处理 光谱学
发文领域:理学 机械工程 电子电信 自动化与计算机技术 天文地球
《Science China Materials》
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作品数:2742被引量:4059H指数:17
issn:2095-8226cn:10-1236/TB
主办单位:Chinese Academy of Sciences and National Natural Science Foundation of China
发文主题:PEROVSKITE SOLAR_CELL GRAPHENE CO NANOSHEETS
发文领域:一般工业技术 化学工程 理学 电气工程 电子电信
《无机材料学报》
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作品数:6789被引量:33317H指数:51
issn:1000-324Xcn:31-1363/TQ
主办单位:中国科学院上海硅酸盐研究所
发文主题:陶瓷 性能研究 TIO AL 复合材料
发文领域:化学工程 一般工业技术 理学 电气工程 电子电信
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