CVD生长

作品数：43被引量：94H指数：6
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退火处理对CVD生长石墨烯薄膜功函数的影响
《江苏大学学报（自然科学版）》2024年第3期362-366,共5页姜燕 程振华 宋娟 
国家自然科学基金资助项目(11974147)。
通过退火处理去除了石墨烯薄膜上的吸附气体和杂质,改变了石墨烯表面吸附情况.利用原子力显微镜和开尔文扫描探针显微镜,对退火处理前后的石墨烯薄膜表面进行了原位扫描,分别得到其退火前、后的表面形貌和表面接触电势差图.根据表面接...
关键词：石墨烯 功函数 原子力显微镜 退火 表面接触电势差 化学气相沉积法 
C-H-F氛围下金刚石薄膜的低温CVD生长过程分析
《金刚石与磨料磨具工程》2024年第1期15-21,共7页简小刚 梁晓伟 姚文山 张毅 张斌华 陈哲 陈茂林 
国家自然科学基金(51275358)。
基于第一性原理的密度泛函理论对C-H-F氛围下低温CVD金刚石薄膜的生长过程进行仿真分析,计算H、F原子在氢终止金刚石表面发生萃取反应的吸附能、反应热与反应能垒,并分析CF_(3)、CF_(2)、CF 3种生长基团在带有活性位点基底上的吸附。结...
关键词：CVD金刚石薄膜 氟 沉积机制 第一性原理 吸附 表面化学反应 
光谱特征关联性分析用于研究CVD生长的单层二硫化钨非均匀性机制
《Science China Materials》2023年第10期3949-3957,共9页苏立钦 余一飞 曹林友 张勇 
support of the Natural Science Foundation of Zhejiang Province(LQ21A050004);the support of the Bissell Distinguished Professorship。
化学气相沉积(CVD)已被证明是生产二维材料(包括二硫化钨(WS_(2)))最有效的方法.然而,CVD生长的WS_(2)单层中存在的应变、掺杂和缺陷的不均匀性会显著影响材料的光学和电子特性,从而影响其器件应用.在本研究中,我们通过CVD方法在蓝宝石...
关键词：tungsten disulfide Raman spectroscopy PHOTOLUMINESCENCE chemical vapor deposition 
微波功率和反应腔室压强对MPCVD生长AlN薄膜质量的影响
《微纳电子技术》2023年第4期626-632,共7页李嘉豪 丁广玉 韩军 邢艳辉 邓旭光 张尧 马晓辉 
国家自然科学基金(61731019);北京市自然科学基金(4202010)。
研究了微波功率和反应腔室压强对微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法生长AlN薄膜质量的影响。采用高温MPCVD法,以N2为氮源,三甲基铝(TMAl)为铝源,在6H-SiC衬底上进行AlN薄膜的外延生长。在不同微波功率和不同反应腔室压强下,外延生长了...
关键词：ALN 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD) SIC衬底 X射线衍射(XRD) 半高全宽(FWHM) 
石墨烯表面构筑微通道的传热性能研究被引量：2
《功能材料与器件学报》2022年第2期142-147,共6页张兴丽 王晓杰 杨明 
国家自然科学基金项目(51706039);中央高校基本科研业务费专项资金项目(2572020BF01)
本文采用化学气相沉积法(CVD法)在微通道散热器金属基底(铜基)表面上生成石墨烯层,进一步强化微通道整体传热性能。通过实验与模拟仿真相结合的方法,研究了矩形截面铜基底微通道在不同温度以及流体流速条件下,生长石墨烯层对微通道内部...
关键词：石墨烯 微通道 强化传热 CVD生长 
气相反应对CVD生长石墨烯的影响被引量：6
《物理化学学报》2022年第1期36-51,共16页陈恒 张金灿 刘晓婷 刘忠范 
国家重点基础研究发展规划项目(2016YFA0200103,2018YFA0703502);国家自然科学基金(51520105003,52072042);北京分子科学国家研究中心(BNLMS-CXTD-202001);北京市科学技术委员会(Z18110300480001,Z18110300480002)资助。
化学气相沉积法(CVD)制备的石墨烯薄膜具有质量高、均匀性好、层数可控且可放大等优点,近年来受到了学术界和工业界的广泛关注。在高温CVD生长过程中,除衬底表面的反应外,气相反应同样会影响石墨烯的生长行为和薄膜质量。本文将综述气...
关键词：石墨烯薄膜 化学气相沉积 气相反应 高品质 可控制备 
网状骨架CVD生长碳纳米管用于重盐水脱盐被引量：9
《物理化学学报》2020年第9期130-138,共9页熊辉 谢歆雯 王苗 侯雅琦 侯旭 
国家重点研发计划(2018YFA0209500);国家自然科学基金(21673197,21621091,21808191,51706191);高等学校学科创新引智计划(B16029);中央高校基本科研业务费专项资金(20720190037);福建省自然科学基金(2018J06003);福建省战略性新兴产业专项资助项目。
目前,太阳能海水淡化领域通过光子管理、纳米尺度热调控、开发新型光热转换材料、设计高效光吸收太阳能蒸馏器等方法实现了界面太阳能驱动蒸汽生成,这种绿色、可持续的脱盐技术已成为近年来的研究热点。碳基材料如碳纳米管、石墨烯、炭...
关键词：微结构设计 网状碳纳米管蒸发膜 界面蒸发 光热转换 太阳能蒸发器 重盐水 
温度对堆叠双层石墨烯层间耦合的影响被引量：1
《计量学报》2018年第6期791-796,共6页盛祥勇 任玲玲 姚雅萱 于盛旺 
国家质量基础的共性技术研究与应用重点专项(2016YFF0204300)
将不同层数堆叠和化学气相沉积法(CVD)生长的石墨烯在室温下进行拉曼光谱表征分析其层间耦合状态,并分析了不同温度下堆叠和CVD生长的双层石墨烯温度对其层间耦合的影响。研究结果表明:室温下CVD生长双层石墨烯和堆叠双层石墨烯的层间...
关键词：计量学 堆叠石墨烯 层间耦合 CVD生长石墨烯 拉曼光谱 温度效应 
新结构InN纳米材料的CVD生长
《西南科技大学学报》2016年第4期13-16,56,共5页刘敏 黄静雯 楚士晋 彭汝芳 
国家自然科学基金(51572230)
采用化学气相沉积法在p型硅衬底上制备具有纤锌矿结构的不同形貌的InN纳米材料,通过扫描电子显微镜和X射线衍射分析了InN纳米材料的形貌、元素组成及晶体结构,发现该材料具有纳米线、纳米叶、纳米项链3种结构,其中纳米叶是InN中的一种...
关键词：化学气相沉积法 InN纳米叶 晶体结构 光致发光谱 
MPCVD生长半导体金刚石材料的研究现状被引量：10
《微纳电子技术》2016年第9期571-581,587,共12页付方彬 金鹏 刘雅丽 龚猛 吴巨 王占国 
北京市科技计划项目(Z151100003315024)
简要介绍了半导体金刚石材料优异的电学和光学性质、主要制备方法以及采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术在制备高质量半导体金刚石材料方面的优势。重点就MPCVD技术在半导体金刚石材料的高速率生长、大尺寸生长、高质量生长以及...
关键词：金刚石 宽禁带 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD) 同质外延生长 掺杂 
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