ICP刻蚀

作品数：93被引量：215H指数：7
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《微纳电子技术》
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作品数：4652被引量：7349H指数：21
曾用名：半导体情报
issn：1671-4776cn：13-1314/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题：MEMS 微电子机械系统 微机电系统 纳电子技术 CMP
发文领域：电子电信 机械工程 一般工业技术 自动化与计算机技术 理学
《半导体光电》
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作品数：5786被引量：11447H指数：26
issn：1001-5868cn：50-1092/TN
主办单位：重庆光电技术研究所
发文主题：半导体激光器 CCD 光纤 光纤光栅 光纤通信
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 理学 机械工程 电气工程
《传感技术学报》
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作品数：8609被引量：34701H指数：44
issn：1004-1699cn：32-1322/TN
主办单位：东南大学;中国微米纳米技术学会
发文主题：无线传感器网络 传感器 MEMS 传感技术 无线传感网络
发文领域：自动化与计算机技术 电子电信 机械工程 理学 电气工程
《真空科学与技术学报》
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作品数：4335被引量：9136H指数：22
曾用名：真空科学与技术
issn：1672-7126cn：11-5177/TB
主办单位：中国真空学会
发文主题：磁控溅射 真空 性能研究 数值模拟 等离子体
发文领域：一般工业技术 理学 电子电信 金属学及工艺 机械工程
《固体电子学研究与进展》
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作品数：3723被引量：4431H指数：13
issn：1000-3819cn：32-1110/TN
主办单位：南京电子器件研究所
发文主题：GAAS 砷化镓 硅 GAN 氮化镓
发文领域：电子电信 理学 自动化与计算机技术 电气工程 文化科学
《Journal of Semiconductors》
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作品数：9341被引量：11403H指数：23
issn：1674-4926cn：11-5781/TN
主办单位：中国电子学会;中国科学院半导体研究所
发文主题：CMOS 硅 GAAS 砷化镓 GAN
发文领域：电子电信 理学 自动化与计算机技术 电气工程 一般工业技术
《激光与红外》
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作品数：7846被引量：24613H指数：34
issn：1001-5078cn：11-2436/TN
主办单位：华北光电技术研究所（中国电子科技集团公司第十一研究所）
发文主题：激光 红外 红外图像 激光器 红外探测器
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 机械工程 理学 兵器科学与技术
《半导体技术》
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作品数：8096被引量：10828H指数：22
issn：1003-353Xcn：13-1109/TN
主办单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
发文主题：集成电路 半导体 硅 可靠性 半导体器件
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 经济管理 电气工程 理学
《功能材料与器件学报》
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作品数：2301被引量：4644H指数：18
曾用名：科技通讯；科技通讯（上海）
issn：1007-4252cn：31-1708/TB
主办单位：中国材料研究学会；中国科学院上海微系统与信息技术研究所
发文主题：英文 MEMS 性能研究 X TIO
发文领域：电子电信 一般工业技术 理学 电气工程 自动化与计算机技术
《红外与激光工程》
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作品数：11876被引量：41865H指数：46
曾用名：红外与激光技术
issn：1007-2276cn：12-1261/TN
主办单位：天津津航技术物理研究所
发文主题：红外 英文 激光雷达 激光 光学设计
发文领域：电子电信 机械工程 自动化与计算机技术 理学 航空宇航科学技术
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