平坦化

作品数：272被引量：519H指数：8
导出分析报告
相关领域：电子电信更多>>
相关作者：赵超李俊峰刘玉岭杨涛王辰伟更多>>
相关机构：京东方科技集团股份有限公司中芯国际集成电路制造(上海)有限公司乐金显示有限公司三星显示有限公司更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家中长期科技发展规划重大专项河北省自然科学基金天津市自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

人物类型

  • 全部
  • 博士生导师
  • 硕士生导师
  • 博士
  • 硕士
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
排序：
赵超
查看相关作品
作品数：18被引量：36H指数：4
发文主题：半导体器件 衬底 栅极 沟道 金属硅化物
发文领域：电子电信 一般工业技术 自动化与计算机技术 理学 机械工程
李俊峰
查看相关作品
作品数：17被引量：4H指数：2
发文主题：半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 一般工业技术 文化科学 金属学及工艺
杨涛
查看相关作品
作品数：3
发文主题：刻蚀 衬底 半导体器件 化学机械平坦化 牺牲层
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 文化科学 一般工业技术 交通运输工程
刘玉岭
查看相关作品
作品数：293被引量：681H指数：12
发文主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发文领域：电子电信 金属学及工艺 一般工业技术 化学工程 文化科学
王辰伟
查看相关作品
作品数：78被引量：166H指数：6
发文主题：CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
发文领域：电子电信 金属学及工艺 化学工程 理学 一般工业技术
曹占锋
查看相关作品
作品数：3被引量：2H指数：1
发文主题：显示装置 基板 薄膜晶体管 显示面板 电极
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 文化科学 金属学及工艺 化学工程
殷华湘
查看相关作品
作品数：21被引量：17H指数：2
发文主题：半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 理学 核科学技术 文化科学
姚琪
查看相关作品
作品数：5被引量：7H指数：1
发文主题：显示装置 基板 显示面板 薄膜晶体管 电极
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 理学 文化科学 电气工程
朱慧珑
查看相关作品
作品数：7被引量：1H指数：1
发文主题：半导体器件 沟道 堆叠 衬底 电子设备
发文领域：电子电信 自动化与计算机技术 文化科学 经济管理 一般工业技术
刘金彪
查看相关作品
作品数：3被引量：3H指数：1
发文主题：半导体器件 沟道 掺杂 衬底 刻蚀
发文领域：电子电信 文化科学 自动化与计算机技术 一般工业技术 金属学及工艺
全选清除导出
共81页<12345678910>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部