殷豪

作品数:3被引量:7H指数:2
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供职机构:中国科学院上海技术物理研究所更多>>
发文主题:微分平面型半导体材料半导体光照强度更多>>
发文领域:电子电信更多>>
发文期刊:《红外与毫米波学报》《红外与激光工程》《物理学报》更多>>
所获基金:国家自然科学基金上海市科学技术委员会基础研究重点项目中国科学院知识创新工程青年人才领域前沿项目更多>>
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AFM/SCM及LBIC技术在平面型保护环结构InGaAs探测器设计中的应用(英文)被引量:2
《红外与毫米波学报》2010年第6期401-405,共5页李永富 唐恒敬 朱耀明 李淘 殷豪 李天信 李雪 龚海梅 
Supported by Key Program of National Science Foundation of China(50632060)
为研究保护环结构对平面型正照射式InP/InGaAs探测器光敏元扩大现象的抑制作用,设计并研制了带有不同保护环-光敏元间距的InGaAs探测器.通过原子力显微镜(AFM)及扫描电容显微镜(SCM)获得了保护环与光敏元之间的实际距离.利用激光束...
关键词:扫描电容显微镜(SCM) 激光束诱导电流(LBIC) 光生载流子扩散 保护环 INP/INGAAS 
GaAs(001)衬底上分子束外延生长InNSb单晶薄膜被引量:3
《物理学报》2010年第11期8026-8030,共5页张燕辉 陈平平 李天信 殷豪 
国家自然科学基金(批准号:60876059);上海市基础研究重点项目(批准号:08JC1421000);上海市重大基础研究项目(批准号:09DJ1400101)资助的课题~~
利用射频氮等离子辅助分子束外延(RF-MBE)技术在GaAs(001)衬底上生长稀氮InNSb半导体薄膜,并通过原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和拉曼散射光谱等测量手段对样品的微结构和N组分等进行了表征.结果显示样品...
关键词:分子束外延 稀氮半导体 X射线衍射 拉曼光谱 
InP/In_xGa_(1-x)As异质结构中Zn元素的扩散机制被引量:2
《红外与激光工程》2009年第6期951-956,共6页李永富 唐恒敬 李淘 朱耀明 汪洋 殷豪 李天信 缪国庆 李雪 龚海梅 
国家自然科学基金重点资助项目(50632060);中国科学院知识创新工程青年人才领域前沿资助项目(C2-32;C2-50)
采用闭管扩散方式实现了Zn元素在晶格匹配InP/In0.53Ga0.47As及晶格失配InP/In0.82Ga0.18As两种异质结构材料中的P型掺杂,利用二次离子质谱(SIMS)以及扫描电容显微技术(SCM)对Zn在两种材料中的扩散机制进行了研究。SIMS测试表明:Zn元素...
关键词:二次离子质谱 扫描电容显微技术 ZN扩散 
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